SiC વેફર બોટ/ટાવર

ઉત્પાદનDવર્ણન

સિલિકોન કાર્બાઇડ વેફર બોટનો ઉપયોગ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રસરણ પ્રક્રિયામાં વેફર હોલ્ડર તરીકે વ્યાપકપણે થાય છે.

ફાયદા:

ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર:૧૮૦૦ ℃ પર સામાન્ય ઉપયોગ

ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા:ગ્રેફાઇટ સામગ્રીની સમકક્ષ

ઉચ્ચ કઠિનતા:હીરા પછી બીજા ક્રમે આવે છે બોરોન નાઇટ્રાઇડ કઠિનતા

કાટ પ્રતિકાર:મજબૂત એસિડ અને આલ્કલીમાં કાટ લાગતો નથી, ટંગસ્ટન કાર્બાઇડ અને એલ્યુમિના કરતાં કાટ પ્રતિકાર વધુ સારો છે.

હલકું વજન:ઓછી ઘનતા, એલ્યુમિનિયમની નજીક

કોઈ વિકૃતિ નથી: થર્મલ વિસ્તરણનો ઓછો ગુણાંક

થર્મલ શોક પ્રતિકાર:તે તાપમાનમાં તીવ્ર ફેરફારોનો સામનો કરી શકે છે, થર્મલ આંચકાનો પ્રતિકાર કરી શકે છે અને સ્થિર કામગીરી ધરાવે છે

SiC ના ભૌતિક ગુણધર્મો

SiC ના થર્મલ ગુણધર્મો