ProduktDbeskrivning
Kiselkarbidwaferbåt används ofta som waferhållare i högtemperaturdiffusionsprocesser.
Fördelar:
Hög temperaturbeständighet:normal användning vid 1800 ℃
Hög värmeledningsförmåga:motsvarande grafitmaterial
Hög hårdhet:hårdhet näst efter diamant, bornitrid
Korrosionsbeständighet:Starka syror och alkalier har ingen korrosion, korrosionsbeständigheten är bättre än volframkarbid och aluminiumoxid
Lätt vikt:låg densitet, nära aluminium
Ingen deformation: låg värmeutvidgningskoefficient
Termisk chockbeständighet:den tål kraftiga temperaturförändringar, motstår termisk chock och har stabil prestanda
Fysiska egenskaper hos SiC
| Egendom | Värde | Metod |
| Densitet | 3,21 g/cc | Sänk-float och dimension |
| Specifik värme | 0,66 J/g °K | Pulserad laserblixt |
| Böjhållfasthet | 450 MPa 560 MPa | 4-punktsböj, RT4-punktsböj, 1300° |
| Brottstyrka | 2,94 MPa m³ | Mikrointryckning |
| Hårdhet | 2800 | Vickers, 500 g belastning |
| Elasticitetsmodul Youngs modul | 450 GPa430 GPa | 4-punktsböj, RT4-punktsböj, 1300 °C |
| Kornstorlek | 2–10 µm | SEM |
Termiska egenskaper hos SiC
| Värmeledningsförmåga | 250 W/m² °K | Laserblixtmetod, RT |
| Termisk expansion (CTE) | 4,5 x 10⁻⁶ °K | Rumstemperatur till 950 °C, kiseldioxiddilatometer |
