Barca/torre de obleas de SiC

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ProductoDdescripción

Las barquillas de carburo de silicio se utilizan ampliamente como soporte para obleas en procesos de difusión a alta temperatura.

Ventajas:

Resistencia a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃

Alta conductividad térmica:equivalente al material de grafito

Alta dureza:Dureza solo superada por el diamante y el nitruro de boro.

Resistencia a la corrosión:Los ácidos y álcalis fuertes no lo corroen; su resistencia a la corrosión es mejor que la del carburo de tungsteno y la alúmina.

Peso ligero:baja densidad, similar al aluminio

Sin deformación: bajo coeficiente de dilatación térmica

Resistencia al choque térmico:Puede soportar cambios bruscos de temperatura, resistir choques térmicos y tiene un rendimiento estable.

Propiedades físicas del SiC

Propiedad	Valor	Método
Densidad	3,21 g/cm³	Flotador de hundimiento y dimensionamiento
calor específico	0,66 J/g °K	Destello láser pulsado
Resistencia a la flexión	450 MPa 560 MPa	Curva de 4 puntos, curva RT4 puntos, 1300°
Tenacidad a la fractura	2,94 MPa m1/2	Microindentación
Dureza	2800	Vickers, carga de 500 g
Módulo de elasticidad \| Módulo de Young	450 GPa 430 GPa	Codo de 4 puntos, codo RT4, 1300 °C
Tamaño del grano	2 – 10 µm	SEM

Propiedades térmicas del SiC

Conductividad térmica	250 W/m °K	Método de destello láser, RT
Expansión térmica (CTE)	4,5 x 10⁻⁶ °K	Dilatómetro de sílice, desde temperatura ambiente hasta 950 °C