Barco/torre de obleas de SiC

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ProductoDDescripción

Las obleas de carburo de silicio se utilizan ampliamente como soporte de obleas en procesos de difusión a alta temperatura.

Ventajas:

Resistencia a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃

Alta conductividad térmica:equivalente al material de grafito

Alta dureza:Dureza superada solo por el diamante y el nitruro de boro.

Resistencia a la corrosión:Los ácidos fuertes y los álcalis no tienen corrosión, la resistencia a la corrosión es mejor que el carburo de tungsteno y la alúmina.

Peso ligero:Baja densidad, cercana al aluminio.

Sin deformación: bajo coeficiente de expansión térmica

Resistencia al choque térmico:Puede soportar cambios bruscos de temperatura, resistir choques térmicos y tiene un rendimiento estable.

 

Propiedades físicas del SiC

Propiedad Valor Método
Densidad 3,21 g/cc Hundimiento-flotación y dimensión
Calor específico 0,66 J/g °K Destello láser pulsado
Resistencia a la flexión 450 MPa560 MPa Curva de 4 puntos, RTCurva de 4 puntos, 1300°
Tenacidad a la fractura 2,94 MPa m1/2 Microindentación
Dureza 2800 Vickers, carga de 500 g
Módulo elásticoMódulo de Young 450 GPa430 GPa Codo de 4 puntos, RT4 pt bend, 1300 °C
Tamaño del grano 2 – 10 µm Microscopia electrónica de barrido

 

Propiedades térmicas del SiC

Conductividad térmica 250 W/m °K Método de destello láser, RT
Expansión térmica (CTE) 4,5 x 10-6 °K Temperatura ambiente hasta 950 °C, dilatómetro de sílice

 

 

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