ผลิตภัณฑ์Dคำอธิบาย
เรือเวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในฐานะที่ยึดเวเฟอร์ในกระบวนการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูง
ข้อดี:
ทนทานต่ออุณหภูมิสูง:ใช้งานปกติที่ 1800℃
การนำความร้อนสูง:เทียบเท่ากับวัสดุกราไฟท์
มีความแข็งสูง:ความแข็งเป็นรองเพียงเพชร โบรอนไนไตรด์
ทนทานต่อการกัดกร่อน:กรดและด่างที่แรงไม่มีการกัดกร่อน ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีกว่าทังสเตนคาร์ไบด์และอะลูมินา
น้ำหนักเบา:ความหนาแน่นต่ำ ใกล้เคียงกับอลูมิเนียม
ไม่เสียรูป: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ
ทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อน:สามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่รุนแรง ทนต่อการกระแทกจากความร้อน และมีประสิทธิภาพที่มั่นคง
สมบัติทางกายภาพของ SiC
| คุณสมบัติ | ค่า | วิธี |
| ความหนาแน่น | 3.21 กรัม/ซีซี | อ่างลอยและมิติ |
| ความร้อนจำเพาะ | 0.66 เจ/ก.°เคลวิน | แฟลชเลเซอร์แบบพัลส์ |
| ความแข็งแรงในการดัดงอ | 450 เมกะปาสคาล560 เมกะปาสคาล | โค้ง 4 จุด, โค้ง RT4 จุด, 1300° |
| ความทนทานต่อการแตกหัก | 2.94 เมกะปาสกาลม1/2 | ไมโครอินเดนเทชั่น |
| ความแข็ง | 2800 | วิคเกอร์ส 500 กรัม |
| โมดูลัสยืดหยุ่นโมดูลัสของยัง | เกรดเฉลี่ย 450 เกรดเฉลี่ย 430 | โค้ง 4 pt, โค้ง RT4 pt, 1300 °C |
| ขนาดเมล็ดพืช | 2 – 10 ไมโครเมตร | เอสอีเอ็ม |
สมบัติทางความร้อนของ SiC
| การนำความร้อน | 250 วัตต์/ม. °K | วิธีการแฟลชเลเซอร์ RT |
| การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (CTE) | 4.5 x 10-6 องศาเซลเซียส | อุณหภูมิห้องถึง 950 °C, ไดลาโทมิเตอร์ซิลิกา |
