محصولDتوصیف
ویفر قایقی سیلیکون کاربید به طور گسترده به عنوان نگهدارنده ویفر در فرآیند انتشار دما بالا استفاده میشود.
مزایا:
مقاومت در برابر دمای بالا:استفاده عادی در دمای ۱۸۰۰ درجه سانتیگراد
رسانایی حرارتی بالا:معادل ماده گرافیتی
سختی بالا:سختی دوم فقط به الماس، نیترید بور
مقاومت در برابر خوردگی:اسید و قلیای قوی هیچ گونه خوردگی روی آن ندارند، مقاومت در برابر خوردگی بهتر از کاربید تنگستن و آلومینا است
وزن سبک:چگالی کم، نزدیک به آلومینیوم
بدون تغییر شکل: ضریب انبساط حرارتی پایین
مقاومت در برابر شوک حرارتی:میتواند در برابر تغییرات شدید دما مقاومت کند، در برابر شوک حرارتی مقاوم باشد و عملکرد پایداری داشته باشد
خواص فیزیکی SiC
| ملک | ارزش | روش |
| تراکم | ۳.۲۱ گرم بر سیسی | سینک-فلوتر و ابعاد |
| گرمای ویژه | ۰.۶۶ ژول بر گرم درجه کلوین | فلاش لیزر پالسی |
| استحکام خمشی | ۴۵۰ مگاپاسکال ۵۶۰ مگاپاسکال | خمش ۴ نقطهای، خمش ۴ نقطهای RT4، ۱۳۰۰ درجه |
| چقرمگی شکست | ۲.۹۴ مگاپاسکال بر متر مربع | ریزدندانهگذاری |
| سختی | ۲۸۰۰ | ویکرز، ظرفیت ۵۰۰ گرم |
| مدول الاستیکمدول یانگ | ۴۵۰ گیگا پاسکال ۴۳۰ گیگا پاسکال | خم ۴ نقطهای، خم RT4 نقطهای، ۱۳۰۰ درجه سانتیگراد |
| اندازه دانه | ۲ تا ۱۰ میکرومتر | SEM |
خواص حرارتی SiC
| رسانایی حرارتی | ۲۵۰ وات بر متر مربع درجه کلوین | روش فلش لیزری، RT |
| انبساط حرارتی (CTE) | ۴.۵ × ۱۰-۶ درجه کلوین | دمای اتاق تا ۹۵۰ درجه سانتیگراد، دیلاتومتر سیلیس |
