VET Energy PECVD-procesgrafitwaferstøtte er et kerneforbrugsmateriale designet til PECVD-processen (plasmaforstærket kemisk dampaflejring). Dette produkt er fremstillet af grafitmateriale med høj renhed og høj densitet med fremragende høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, dimensionsstabilitet og andre egenskaber, der kan give en stabil støtteplatform til PECVD-processen for at sikre ensartethed og fladhed af filmaflejringen.
VET Energys grafitwafer-understøttelsesdesign med "grafitstøtte" kan ikke kun effektivt understøtte waferen, men også give termisk stabilitet i PECVD-miljøer med høj temperatur og højt tryk for at sikre processens stabilitet.
VET Energy PECVD-procesgrafitwaferunderstøtning har følgende egenskaber:
▪Høj renhed:ekstremt lavt urenhedsindhold, undgå kontaminering af filmen for at sikre filmens kvalitet.
▪Høj densitet:høj densitet, høj mekanisk styrke, kan modstå høj temperatur og højt tryk i PECVD-miljøer.
▪God dimensionsstabilitet:små dimensionsændringer ved høj temperatur for at sikre processens stabilitet.
▪Fremragende varmeledningsevne:overfører effektivt varme for at forhindre overophedning af waferen.
▪Stærk korrosionsbestandighed:Kan modstå erosion fra forskellige ætsende gasser og plasma.
▪Tilpasset service:Grafitstøtteborde i forskellige størrelser og former kan tilpasses efter kundens behov.
Grafitmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Teststandard | Værdi | Enhed |
| Gennemsnitlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | μm |
| Rumdensitet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm²3 |
| Åben porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Mellem porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hårdhed HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifik elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøjningsstyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykstyrke | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk ekspansion (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Termisk ledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er specielt designet til højeffektiv solcelleproduktion og understøtter behandling af store G12-wafere. Optimeret carrier-design øger gennemløbshastigheden betydeligt, hvilket muliggør højere udbytterater og lavere produktionsomkostninger.
| Punkt | Type | Nummerwaferbærer |
| PEVCD Grephite-båd - 156-serien | 156-13 grephitbåd | 144 |
| 156-19 grefitbåd | 216 | |
| 156-21 grefitbåd | 240 | |
| 156-23 grafitbåd | 308 | |
| PEVCD Grephite-båd - 125-serien | 125-15 grephitbåd | 196 |
| 125-19 grephitbåd | 252 | |
| 125-21 grafitbåd | 280 |
