Grafitbærer til PECVD-processen

Grafitbærer til PECVD-proces Fremhævet billede

Kort beskrivelse:

VET EnergiPECVD grafitbåd til solpaneler er en avanceret komponent designet specielt til produktion af højtydende solpaneler. Denne grafitbåd, der bruges i plasmaforstærket kemisk dampaflejring (PECVD), sikrer optimal materialehåndtering og ensartet aflejring af tyndfilm på solceller. Den er konstrueret til præcision og holdbarhed og giver overlegen varmeledningsevne, høj korrosionsbestandighed og minimal kontaminering, hvilket er afgørende for produktionen af effektive solpaneler af høj kvalitet.

Send e-mail til os Download som PDF

Produktdetaljer

Produktmærker

VET EnergiPECVD-procesgrafitbæreren er et forbrugsmateriale af høj kvalitet, der er skræddersyet til PECVD-processen (plasmaforstærket kemisk dampaflejring). Denne grafitbærer er lavet af grafitmateriale med høj renhed og høj densitet med fremragende høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, dimensionsstabilitet og andre egenskaber. Den kan give en stabil bærerplatform til PECVD-processen for at sikre ensartethed og fladhed i tyndfilmsaflejringen.

Grafitbærere til PECVD-processen har følgende egenskaber:

▪ Høj renhed: ekstremt lavt indhold af urenheder, hvilket undgår kontaminering af filmen og sikrer filmkvaliteten.

▪ Høj densitet: høj densitet, høj mekanisk styrke, i stand til at modstå høje temperaturer og højt tryk i PECVD-miljøer.

▪ God dimensionsstabilitet: lille dimensionsændring ved høj temperatur, hvilket sikrer processtabilitet.

▪ Fremragende varmeledningsevne: Overfører effektivt varme for at forhindre overophedning af wafere.

▪ Stærk korrosionsbestandighed: i stand til at modstå erosion fra forskellige ætsende gasser og plasma.

▪ Tilpasset service: Grafitbærere i forskellige størrelser og former kan tilpasses efter kundens behov.

Grafitmateriale fra SGL:

Typisk parameter: R6510
Indeks	Teststandard	Værdi	Enhed
Gennemsnitlig kornstørrelse	ISO 13320	10	μm
Rumdensitet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Åben porøsitet	DIN66133	10	%
Mellem porestørrelse	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hårdhed HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifik elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bøjningsstyrke	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Trykstyrke	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termisk ekspansion (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Termisk ledningsevne (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den er specielt designet til højeffektiv solcelleproduktion og understøtter behandling af store G12-wafere. Optimeret carrier-design øger gennemløbshastigheden betydeligt, hvilket muliggør højere udbytterater og lavere produktionsomkostninger.

Punkt	Type	Nummerwaferbærer
PEVCD Grephite-båd - 156-serien	156-13 grephitbåd	144
	156-19 grefitbåd	216
	156-21 grefitbåd	240
	156-23 grafitbåd	308
PEVCD Grephite-båd - 125-serien	125-15 grephitbåd	196
	125-19 grephitbåd	252
	125-21 grafitbåd	280