Funktioner:
· Fremragende modstandsdygtighed over for termisk stød
· Fremragende fysisk stødmodstand
· Fremragende kemisk resistens
· Super høj renhed
· Tilgængelighed i kompleks form
· Kan bruges under oxiderende atmosfære
Anvendelse:
Produktegenskaber og fordele:
1. Overlegen termisk modstand:Med en høj renhedSiC-belægning, substratet modstår ekstreme temperaturer, hvilket sikrer ensartet ydeevne i krævende miljøer såsom epitaksi og halvlederfremstilling.
2. Forbedret holdbarhed:De SiC-belagte grafitkomponenter er designet til at modstå kemisk korrosion og oxidation, hvilket øger substratets levetid sammenlignet med standardgrafitsubstrater.
3. Glaslegemebelagt grafit:Den unikke glaslegemestruktur afSiC-belægninggiver fremragende overfladehårdhed, hvilket minimerer slitage under højtemperaturbehandling.
4. SiC-belægning med høj renhed:Vores substrat sikrer minimal kontaminering i følsomme halvlederprocesser og tilbyder pålidelighed til industrier, der kræver strenge materialers renhed.
5. Bred markedsanvendelse:DeSiC-belagt grafitsusceptorMarkedet fortsætter med at vokse i takt med at efterspørgslen efter avancerede SiC-belagte produkter inden for halvlederfremstilling stiger, hvilket positionerer dette substrat som en nøgleaktør på både markedet for grafitwaferbærere og markedet for siliciumcarbidbelagte grafitbakker.
Typiske egenskaber ved basisgrafitmateriale:
| Tilsyneladende densitet: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrisk modstand: | 11 μΩm |
| Bøjningsstyrke: | 49 MPa (500 kgf/cm²) |
| Shore-hårdhed: | 58 |
| Aske: | <5 ppm |
| Termisk ledningsevne: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β fase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / kornstørrelse | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995% |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy er den egentlige producent af specialfremstillede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. og kan levere forskellige specialfremstillede dele til halvleder- og solcelleindustrien.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde dig mere professionelle materialeløsninger.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer, og har udviklet en eksklusiv patenteret teknologi, der kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!
