Caractéristiques:
· Excellente résistance aux chocs thermiques
· Excellente résistance aux chocs physiques
· Excellente résistance chimique
· Très haute pureté
· Disponibilité sous forme complexe
·Utilisable sous atmosphère oxydante
Application:
Caractéristiques et avantages du produit :
1. Résistance thermique supérieure:Avec une grande puretérevêtement SiC, le substrat résiste à des températures extrêmes, garantissant des performances constantes dans des environnements exigeants tels que l'épitaxie et la fabrication de semi-conducteurs.
2. Durabilité améliorée:Les composants en graphite revêtus de SiC sont conçus pour résister à la corrosion chimique et à l'oxydation, augmentant ainsi la durée de vie du substrat par rapport aux substrats en graphite standard.
3. Graphite revêtu de verre:La structure vitreuse unique durevêtement SiCoffre une excellente dureté de surface, minimisant l'usure lors du traitement à haute température.
4. Revêtement SiC haute pureté:Notre substrat garantit une contamination minimale dans les processus de semi-conducteurs sensibles, offrant une fiabilité aux industries qui exigent une pureté matérielle rigoureuse.
5. Application à un large marché:LeSuscepteur en graphite revêtu de SiCLe marché continue de croître à mesure que la demande de produits avancés revêtus de SiC dans la fabrication de semi-conducteurs augmente, positionnant ce substrat comme un acteur clé à la fois sur le marché des supports de plaquettes en graphite et sur le marché des plateaux en graphite revêtus de carbure de silicium.
Propriétés typiques du matériau de base en graphite :
| Densité apparente : | 1,85 g/cm3 |
| Résistivité électrique : | 11 μΩm |
| Résistance à la flexion : | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Dureté Shore : | 58 |
| Cendre: | <5 ppm |
| Conductivité thermique : | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement | |
| Accueil / Propriété | 典型数值 / Valeur typique |
| 晶体结构 / Structure Cristalline | Phase β FCC |
| 密度 / Densité | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureté | 2 500 维氏硬度 (charge de 500 g) |
| Taille des grains / Taille des grains | 2 à 10 μm |
| 纯度 / Pureté chimique | 99,99995% |
| Capacité / Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Température de sublimation | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| 杨氏模量 / Module de Young | 430 Gpa 4pt courbé, 1300℃ |
| 导热系数 / Conductivité thermique | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energy est le véritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec différents revêtements tels que le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc., peut fournir diverses pièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.
Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.
Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés et avons mis au point une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.
Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !
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