Jellemzők:
· Kiváló hősokk-állóság
· Kiváló fizikai ütésállóság
· Kiváló vegyszerállóság
· Szuper nagy tisztaságú
· Elérhetőség komplex alakban
· Oxidáló atmoszférában használható
Alkalmazás:
Termékjellemzők és előnyök:
1. Kiváló hőállóság:Nagy tisztaságúSiC bevonat, az aljzat ellenáll a szélsőséges hőmérsékleteknek, biztosítva az állandó teljesítményt olyan igényes környezetekben, mint az epitaxia és a félvezetőgyártás.
2. Fokozott tartósság:A SiC bevonatú grafit alkatrészeket úgy tervezték, hogy ellenálljanak a kémiai korróziónak és oxidációnak, növelve az aljzat élettartamát a hagyományos grafit aljzatokhoz képest.
3. Üvegbevonatú grafit:Az egyedi üvegtesti szerkezetSiC bevonatkiváló felületi keménységet biztosít, minimalizálva a kopást a magas hőmérsékletű feldolgozás során.
4. Nagy tisztaságú SiC bevonat:Aljzatunk minimális szennyeződést biztosít az érzékeny félvezető folyamatokban, megbízhatóságot kínálva az olyan iparágak számára, amelyek szigorú anyagtisztaságot igényelnek.
5. Széleskörű piaci alkalmazás:ASiC bevonatú grafit szuszceptorA piac továbbra is növekszik, mivel a félvezetőgyártásban egyre nagyobb az igény a fejlett SiC-bevonatú termékekre, ami kulcsszereplővé teszi ezt az aljzatot mind a grafit ostyahordozók, mind a szilícium-karbid bevonatú grafit tálcák piacán.
Az alapgrafit anyag tipikus tulajdonságai:
| Látszólagos sűrűség: | 1,85 g/cm3 |
| Elektromos ellenállás: | 11 μΩm |
| Hajlítószilárdság: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Shore keménység: | 58 |
| Hamu: | <5 ppm |
| Hővezető képesség: | 116 W/mK (100 kcal/móra-℃) |
| szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat | |
| 性质 / Property | 典型数值 / Tipikus érték |
| 晶体结构 / Crystal Structure | FCC β fázis 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Keménység | 2500 维氏硬度 (500 g-os töltet) |
| 晶粒大小 / Grain Size | 2~10 μm |
| 纯度 / Kémiai tisztaság | 99,99995% |
| 热容 / hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Hajlítóerő | 415 MPa RT 4-pontos |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃ |
| 导热系数 / Hővezetőképesség | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
A VET Energy a testreszabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója, különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üvegkarbon bevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., és különféle testreszabott alkatrészeket szállít a félvezető és fotovoltaikus ipar számára.
Műszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
Folyamatosan fejlesztjük a fejlettebb eljárásokat, hogy fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé hajlamosabbá teszi a bevonat és az aljzat közötti kötést.
Szeretettel várjuk gyárunkban, hogy megbeszélhessük a részleteket!
