Grafítburðarefni fyrir PECVD ferli

Stutt lýsing:

VET orkaPECVD grafítbáturinn fyrir sólarsellur er háþróaður íhlutur hannaður sérstaklega fyrir framleiðslu á afkastamiklum sólarsellum. Þessi grafítbátur, sem er notaður í plasma-enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) ferlum, tryggir bestu mögulegu efnismeðhöndlun og jafna útfellingu þunnra filmu á sólarsellum. Hann er hannaður með nákvæmni og endingu að leiðarljósi og býður upp á framúrskarandi varmaleiðni, mikla tæringarþol og lágmarks mengun, sem er nauðsynlegt fyrir framleiðslu á skilvirkum, hágæða sólarsellum.

Senda okkur tölvupóst Sækja sem PDF

Vöruupplýsingar

Vörumerki

VET orkaPECVD grafítburðarefni er hágæða neysluefni sem er sérsniðið fyrir PECVD (plasma-enhanced chemical vapour deposition) ferlið. Þetta grafítburðarefni er úr hágæða grafítefni með mikilli hreinleika og mikilli þéttleika, með framúrskarandi hitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og aðra eiginleika, og getur veitt stöðugan burðargrunn fyrir PECVD ferlið, til að tryggja einsleitni og flatneskju þunnfilmuútfellingar.

Grafítflutningsefni fyrir PECVD-ferlið hafa eftirfarandi eiginleika:

▪ Mikil hreinleiki: afar lágt óhreinindainnihald, sem kemur í veg fyrir mengun filmunnar og tryggir gæði filmunnar.

▪ Mikil eðlisþyngd: mikil eðlisþyngd, mikill vélrænn styrkur, þolir háan hita og háþrýsting í PECVD umhverfi.

▪ Góð víddarstöðugleiki: lítil víddarbreyting við hátt hitastig, sem tryggir stöðugleika í ferlinu.

▪ Framúrskarandi varmaleiðni: Flytur varma á áhrifaríkan hátt til að koma í veg fyrir ofhitnun á skífum.

▪ Sterk tæringarþol: þolir rof frá ýmsum ætandi lofttegundum og plasma.

▪ Sérsniðin þjónusta: grafítflutningshlutar af mismunandi stærðum og gerðum er hægt að aðlaga eftir þörfum viðskiptavina.

Grafítefni frá SGL:

Dæmigert breytu: R6510
Vísitala	Prófunarstaðall	Gildi	Eining
Meðalkornastærð	ISO 13320	10	míkrómetrar
Þéttleiki rúmmáls	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Opin gegndræpi	DIN66133	10	%
Miðlungsstærð pora	DIN66133	1.8	míkrómetrar
Gegndræpi	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hörku HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sérstök rafviðnám	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Beygjustyrkur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Þjöppunarstyrkur	DIN 51910	130	MPa
Youngs stuðull	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Varmaþensla (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmaleiðni (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Það er sérstaklega hannað fyrir framleiðslu á sólarsellum með mikilli skilvirkni og styður vinnslu á stórum G12 skífum. Bjartsýni hönnun flutningsaðila eykur afköst verulega, sem gerir kleift að auka afköst og lækka framleiðslukostnað.

Vara	Tegund	Fjöldi skífuflutningsaðila
PEVCD Grephite bátur - 156 serían	156-13 grefítbátur	144
	156-19 grefítbátur	216
	156-21 grefítbátur	240
	156-23 grafítbátur	308
PEVCD Grephite bátur - 125 serían	125-15 grefítbátur	196
	125-19 grefítbátur	252
	125-21 grafítbátur	280