PECVD grafítskífustuðningur

Stuðningur við PECVD grafítskífu - Valin mynd

Stutt lýsing:

Grafítskífustuðningur VET Energy er hannaður með nákvæmni og afköst í huga og er kjörinn efniviður til notkunar í háþróaðri skífuvinnslu þar sem mikil hitastöðugleiki og stöðug afköst eru mikilvæg. Hvort sem þú vinnur með hálfleiðaraskífur eða önnur viðkvæm undirlög, þá mun þessi hágæða grafítstuðningur auka áreiðanleika ferla og gæði vörunnar, sem gerir hann að ómissandi íhlut fyrir nútíma framleiðslu.

Senda okkur tölvupóst Sækja sem PDF

Vöruupplýsingar

Vörumerki

VET Energy PECVD grafítplötustuðningur er kjarni sem er hannaður fyrir PECVD (plasma-enhanced chemical vapour deposition) ferlið. Þessi vara er úr hágæða grafítefni með mikilli þéttleika, með framúrskarandi hitaþol, tæringarþol, víddarstöðugleika og aðra eiginleika, getur veitt stöðugan stuðningsgrunn fyrir PECVD ferlið, til að tryggja einsleitni og flatneskju filmuútfellingar.

„Grafítstuðningur“ hönnunar VET Energy grafítskífustuðnings getur ekki aðeins stutt skífuna á áhrifaríkan hátt, heldur einnig veitt hitastöðugleika í PECVD umhverfi við háan hita og háþrýsting til að tryggja stöðugleika ferlisins.

VET Energy PECVD grafítskífustuðningur hefur eftirfarandi eiginleika:

▪Mikil hreinleiki:Mjög lágt óhreinindainnihald, forðastu mengun filmunnar og tryggja gæði filmunnar.

▪Hár þéttleiki:Hár þéttleiki, mikill vélrænn styrkur, þolir háan hita og háþrýsting í PECVD umhverfi.

▪Góð víddarstöðugleiki:Lítil víddarbreytingar við háan hita til að tryggja stöðugleika ferlisins.

▪Frábær varmaleiðni:Flytja hita á áhrifaríkan hátt til að koma í veg fyrir ofhitnun á skífunni.

▪Sterk tæringarþol:Getur staðist rof frá ýmsum ætandi lofttegundum og plasma.

▪Sérsniðin þjónusta:Hægt er að aðlaga grafítborð í mismunandi stærðum og gerðum eftir þörfum viðskiptavina.

Grafítefni frá SGL:

Dæmigert breytu: R6510
Vísitala	Prófunarstaðall	Gildi	Eining
Meðalkornastærð	ISO 13320	10	míkrómetrar
Þéttleiki rúmmáls	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Opin gegndræpi	DIN66133	10	%
Miðlungsstærð pora	DIN66133	1.8	míkrómetrar
Gegndræpi	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hörku HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sérstök rafviðnám	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Beygjustyrkur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Þjöppunarstyrkur	DIN 51910	130	MPa
Youngs stuðull	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Varmaþensla (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmaleiðni (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Það er sérstaklega hannað fyrir framleiðslu á sólarsellum með mikilli skilvirkni og styður vinnslu á stórum G12 skífum. Bjartsýni hönnun flutningsaðila eykur afköst verulega, sem gerir kleift að auka afköst og lækka framleiðslukostnað.

Vara	Tegund	Fjöldi skífuflutningsaðila
PEVCD Grephite bátur - 156 serían	156-13 grefítbátur	144
	156-19 grefítbátur	216
	156-21 grefítbátur	240
	156-23 grafítbátur	308
PEVCD Grephite bátur - 125 serían	125-15 grefítbátur	196
	125-19 grefítbátur	252
	125-21 grafítbátur	280