VET Energyの6インチ半絶縁SiCウェハは、優れた熱伝導性と電気絶縁性を備え、高出力・高周波アプリケーション向けの先進的なソリューションです。これらの半絶縁ウェハは、RFアンプ、パワースイッチ、その他の高電圧部品などのデバイス開発に不可欠です。VET Energyは一貫した品質と性能を保証し、幅広い半導体製造プロセスに最適なウェハを提供しています。
これらのSiCウェーハは、優れた絶縁特性に加え、Siウェーハ、SiC基板、SOIウェーハ、SiN基板、エピウェーハなど、様々な材料との互換性を備えているため、様々な製造プロセスに汎用的に使用できます。さらに、酸化ガリウム(Ga2O3)やAlNウェーハといった先進材料と組み合わせることで、高出力電子機器の柔軟性をさらに高めることができます。これらのウェーハは、カセットシステムなどの業界標準のハンドリングシステムとシームレスに統合できるように設計されており、量産現場での使いやすさを確保しています。
VET Energyは、Siウェハ、SiC基板、SOIウェハ、SiN基板、エピウェハ、酸化ガリウム(Ga2O3)、AlNウェハなど、幅広い半導体基板ポートフォリオを提供しています。当社の多様な製品ラインは、パワーエレクトロニクスからRF、オプトエレクトロニクスまで、様々な電子アプリケーションのニーズに対応しています。
6 インチ半絶縁 SiC ウェハにはいくつかの利点があります。
高い破壊電圧: SiC の広いバンドギャップにより、より高い破壊電圧が可能になり、よりコンパクトで効率的な電力デバイスが可能になります。
高温動作: SiC の優れた熱伝導性により、より高温での動作が可能になり、デバイスの信頼性が向上します。
低いオン抵抗: SiC デバイスはオン抵抗が低いため、電力損失が低減し、エネルギー効率が向上します。
VET Energyは、厚さ、ドーピングレベル、表面仕上げなど、お客様の特定の要件に合わせてカスタマイズ可能なSiCウェハを提供しています。当社の専門チームは、お客様の成功を確実にするために、技術サポートとアフターサービスをご提供いたします。
ウェーハ仕様
*n-Pm=n型Pmグレード、n-Ps=n型Psグレード、Sl=半絶縁
| アイテム | 8インチ | 6インチ | 4インチ | ||
| nP | n-午後 | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| ボウ(GF3YFCD)-絶対値 | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| ワープ(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | 2μm未満 | ||||
| ウェーハエッジ | 面取り | ||||
表面仕上げ
*n-Pm=n型Pmグレード、n-Ps=n型Psグレード、Sl=半絶縁
| アイテム | 8インチ | 6インチ | 4インチ | ||
| nP | n-午後 | n-Ps | SI | SI | |
| 表面仕上げ | 両面光学研磨、Si面CMP | ||||
| 表面粗さ | (10um x 10um) Si面Ra≤0.2nm | (5umx5um) Si面Ra≤0.2nm | |||
| エッジチップ | なし 許可なし(長さと幅≥0.5mm) | ||||
| インデント | 許可なし | ||||
| 傷(Si面) | 数量≤5、累計 | 数量≤5、累計 | 数量≤5、累計 | ||
| ひび割れ | 許可なし | ||||
| エッジ除外 | 3mm | ||||







