បច្ចេកវិទ្យាបោះពុម្ពដោយពន្លឺផ្តោតជាចម្បងលើការប្រើប្រាស់ប្រព័ន្ធអុបទិកដើម្បីបង្ហាញលំនាំសៀគ្វីនៅលើបន្ទះស៊ីលីកុន។ ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការនេះប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ដំណើរការ និងទិន្នផលនៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូល។ ក្នុងនាមជាឧបករណ៍កំពូលមួយសម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីប ម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពដោយពន្លឺមានសមាសធាតុរហូតដល់រាប់រយរាប់ពាន់។ ទាំងសមាសធាតុអុបទិក និងសមាសធាតុនៅក្នុងប្រព័ន្ធបោះពុម្ពដោយពន្លឺត្រូវការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បំផុតដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃសៀគ្វី។សេរ៉ាមិច SiCត្រូវបានគេប្រើប្រាស់នៅក្នុងបន្ទះសៀគ្វីវ៉ាហ្វឺរនិងកញ្ចក់ការ៉េសេរ៉ាមិច។
បន្ទះស្រោបនំវ៉ាហ្វើរប្រអប់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរនៅក្នុងម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីទ្រទ្រង់ និងរំកិលបន្ទះវ៉ាហ្វឺរអំឡុងពេលដំណើរការបង្ហាញ។ ការតម្រឹមឲ្យបានច្បាស់លាស់រវាងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ និងប្រអប់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរគឺចាំបាច់សម្រាប់ការចម្លងលំនាំនៅលើផ្ទៃបន្ទះវ៉ាហ្វឺរបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ។បន្ទះ SiCក្បាលម៉ាស៊ីនត្រូវបានគេស្គាល់ថាមានទម្ងន់ស្រាល ស្ថេរភាពវិមាត្រខ្ពស់ និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប ដែលអាចកាត់បន្ថយបន្ទុកនិចលភាព និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពចលនា ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំង និងស្ថេរភាព។
កញ្ចក់ការ៉េសេរ៉ាមិច នៅក្នុងម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វី ការសម្របសម្រួលចលនារវាងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ និងដំណាក់កាលម៉ាសគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់ ដែលប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ភាពត្រឹមត្រូវ និងទិន្នផលលីតូក្រាហ្វី។ ឧបករណ៍ឆ្លុះបញ្ចាំងការ៉េគឺជាសមាសធាតុសំខាន់នៃប្រព័ន្ធវាស់ស្ទង់មតិទីតាំងស្កេនបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ ហើយតម្រូវការសម្ភារៈរបស់វាគឺទម្ងន់ស្រាល និងតឹងរ៉ឹង។ ទោះបីជាសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃមានលក្ខណៈសម្បត្តិទម្ងន់ស្រាលដ៏ល្អក៏ដោយ ការផលិតសមាសធាតុបែបនេះគឺជាបញ្ហាប្រឈម។ បច្ចុប្បន្ននេះ ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាអន្តរជាតិឈានមុខគេភាគច្រើនប្រើប្រាស់សម្ភារៈដូចជាស៊ីលីការលាយ និងខ័រឌៀរីត។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ជាមួយនឹងការរីកចម្រើននៃបច្ចេកវិទ្យា អ្នកជំនាញចិនបានសម្រេចការផលិតកញ្ចក់ការ៉េសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានទំហំធំ រាងស្មុគស្មាញ ទម្ងន់ស្រាលខ្ពស់ បិទជិតពេញលេញ និងសមាសធាតុអុបទិកមុខងារផ្សេងទៀតសម្រាប់ម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វី។ ហ្វូតូម៉ាស ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជារន្ធ បញ្ជូនពន្លឺតាមរយៈម៉ាសដើម្បីបង្កើតជាលំនាំលើសម្ភារៈងាយនឹងពន្លឺ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ នៅពេលដែលពន្លឺ EUV បញ្ចេញកាំរស្មីម៉ាស វាបញ្ចេញកំដៅ បង្កើនសីតុណ្ហភាពដល់ 600 ទៅ 1000 អង្សាសេ ដែលអាចបណ្តាលឱ្យខូចខាតដោយកម្ដៅ។ ដូច្នេះ ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត SiC ជាធម្មតាត្រូវបានដាក់នៅលើហ្វូតូម៉ាស។ ក្រុមហ៊ុនបរទេសជាច្រើន ដូចជា ASML ឥឡូវនេះផ្តល់ជូននូវខ្សែភាពយន្តដែលមានការបញ្ជូនពន្លឺជាង 90% ដើម្បីកាត់បន្ថយការសម្អាត និងការត្រួតពិនិត្យក្នុងអំឡុងពេលប្រើប្រាស់ហ្វូតូម៉ាស និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាព និងទិន្នផលផលិតផលរបស់ម៉ាស៊ីនថតចម្លងរូបថត EUV។
ការឆ្លាក់ប្លាស្មានិង Deposition Photomasks ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា crosshairs មានមុខងារចម្បងក្នុងការបញ្ជូនពន្លឺតាមរយៈរបាំងមុខ និងបង្កើតលំនាំលើសម្ភារៈងាយនឹងពន្លឺ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ នៅពេលដែលពន្លឺ EUV (អ៊ុលត្រាវីយូឡេខ្លាំង) បញ្ចេញកាំរស្មី photomask វាបញ្ចេញកំដៅ ដែលបង្កើនសីតុណ្ហភាពដល់ចន្លោះពី 600 ទៅ 1000 អង្សាសេ ដែលអាចបណ្តាលឱ្យខូចខាតដោយកម្ដៅ។ ដូច្នេះ ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនកាប៊ីដ (SiC) ជាធម្មតាត្រូវបានដាក់លើ photomask ដើម្បីកាត់បន្ថយបញ្ហានេះ។ បច្ចុប្បន្ននេះ ក្រុមហ៊ុនបរទេសជាច្រើន ដូចជា ASML បានចាប់ផ្តើមផ្តល់ខ្សែភាពយន្តដែលមានតម្លាភាពជាង 90% ដើម្បីកាត់បន្ថយតម្រូវការសម្រាប់ការសម្អាត និងការត្រួតពិនិត្យក្នុងអំឡុងពេលប្រើប្រាស់ photomask ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាព និងទិន្នផលផលិតផលរបស់ម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វី EUV។ ការឆ្លាក់ប្លាស្មា និងចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍នៃការដាក់ប្រាក់និងផ្សេងៗទៀត នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ដំណើរការឆ្លាក់ប្រើសារធាតុរាវ ឬឧស្ម័នឆ្លាក់ (ដូចជាឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីន) ដែលអ៊ីយ៉ូដចូលទៅក្នុងប្លាស្មា ដើម្បីបំផ្ទុះបន្ទះសៀគ្វី ហើយយកសម្ភារៈដែលមិនចង់បានចេញជាជម្រើសរហូតដល់លំនាំសៀគ្វីដែលចង់បាននៅតែមាននៅលើ។នំវ៉ាហ្វើរផ្ទៃ។ ផ្ទុយទៅវិញ ការដាក់ស្រទាប់ស្តើងគឺស្រដៀងគ្នាទៅនឹងផ្នែកបញ្ច្រាសនៃការឆ្លាក់ ដោយប្រើវិធីសាស្ត្រដាក់ស្រទាប់ដើម្បីដាក់សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់រវាងស្រទាប់ដែកដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់ស្តើង។ ដោយសារដំណើរការទាំងពីរប្រើបច្ចេកវិទ្យាប្លាស្មា ពួកវាងាយនឹងរងផលប៉ះពាល់ដោយការច្រេះលើបន្ទប់ និងសមាសធាតុ។ ដូច្នេះ សមាសធាតុនៅខាងក្នុងឧបករណ៍ត្រូវបានទាមទារឱ្យមានភាពធន់នឹងប្លាស្មាល្អ មានប្រតិកម្មទាបចំពោះឧស្ម័នឆ្លាក់ហ្វ្លុយអូរីន និងចរន្តទាប។ សមាសធាតុឧបករណ៍ឆ្លាក់ និងដាក់ស្រទាប់បែបប្រពៃណី ដូចជាចិញ្ចៀនផ្តោត ជាធម្មតាត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុដើមដូចជាស៊ីលីកុន ឬរ៉ែថ្មខៀវ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ជាមួយនឹងការរីកចម្រើននៃការបង្រួមសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា តម្រូវការ និងសារៈសំខាន់នៃដំណើរការឆ្លាក់ក្នុងការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាកំពុងកើនឡើង។ នៅកម្រិតមីក្រូទស្សន៍ ការឆ្លាក់បន្ទះស៊ីលីកុនដែលមានភាពជាក់លាក់តម្រូវឱ្យមានប្លាស្មាថាមពលខ្ពស់ដើម្បីសម្រេចបានទទឹងបន្ទាត់តូចជាង និងរចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍ស្មុគស្មាញជាង។ ដូច្នេះ ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) ការដាក់ស្រទាប់ចំហាយគីមី (CVD) បានក្លាយជាសម្ភារៈថ្នាំកូតដែលពេញចិត្តបន្តិចម្តងៗសម្រាប់ឧបករណ៍ឆ្លាក់ និងដាក់ស្រទាប់ជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្ត និងគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងឯកសណ្ឋាន។ បច្ចុប្បន្ននេះ សមាសធាតុស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ CVD នៅក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់រួមមានចិញ្ចៀនផ្តោត ក្បាលផ្កាឈូកឧស្ម័ន ថាស និងចិញ្ចៀនគែម។ នៅក្នុងឧបករណ៍ដាក់សារធាតុរាវ មានគម្របបន្ទប់ ស្រទាប់ខាងក្នុងបន្ទប់ និងស្រទាប់ក្រាហ្វីតស្រោបដោយ SIC.
ដោយសារតែវាមានប្រតិកម្ម និងចរន្តអគ្គិសនីទាបចំពោះឧស្ម័នក្លរីន និងហ្វ្លុយអូរីន ដែលបង្កើតជាចំហាយទឹកកាបូនស៊ីលីកុន CVDបានក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់សមាសធាតុដូចជាចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍នៅក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់ប្លាស្មា។កាបូនស៊ីលីកុន CVDសមាសធាតុនៅក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់រួមមាន ចិញ្ចៀនផ្តោត ក្បាលផ្កាឈូកហ្គាស ថាស ចិញ្ចៀនគែមជាដើម។ យកចិញ្ចៀនផ្តោតជាឧទាហរណ៍ ពួកវាគឺជាសមាសធាតុសំខាន់ៗដែលដាក់នៅខាងក្រៅបន្ទះ wafer និងមានទំនាក់ទំនងដោយផ្ទាល់ជាមួយបន្ទះ wafer។ តាមរយៈការអនុវត្តវ៉ុលទៅចិញ្ចៀន ប្លាស្មាត្រូវបានផ្តោតតាមរយៈចិញ្ចៀនទៅលើបន្ទះ wafer ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋាននៃដំណើរការ។ ជាប្រពៃណី ចិញ្ចៀនផ្តោតត្រូវបានផលិតពីស៊ីលីកុន ឬរ៉ែថ្មខៀវ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ នៅពេលដែលការបង្រួមសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នារីកចម្រើន តម្រូវការ និងសារៈសំខាន់នៃដំណើរការឆ្លាក់ក្នុងការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាបន្តកើនឡើង។ ថាមពលឆ្លាក់ប្លាស្មា និងតម្រូវការថាមពលបន្តកើនឡើង ជាពិសេសនៅក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់ប្លាស្មាដែលភ្ជាប់ជាមួយសមត្ថភាព (CCP) ដែលត្រូវការថាមពលប្លាស្មាខ្ពស់ជាង។ ជាលទ្ធផល ការប្រើប្រាស់ចិញ្ចៀនផ្តោតដែលធ្វើពីវត្ថុធាតុដើមស៊ីលីកុនកាប៊ីតកំពុងកើនឡើង។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៩ ខែតុលា ឆ្នាំ ២០២៤