បច្ចេកវិទ្យា Dual-Damascene គឺជាបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការមួយដែលប្រើសម្រាប់ផលិតឧបករណ៍ភ្ជាប់លោហៈនៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ វាគឺជាការអភិវឌ្ឍបន្ថែមទៀតនៃដំណើរការ Damascus។ តាមរយៈការបង្កើតរន្ធ និងចង្អូរក្នុងពេលតែមួយក្នុងជំហានដំណើរការដូចគ្នា និងបំពេញវាដោយលោហៈ ការផលិតរួមបញ្ចូលគ្នានៃឧបករណ៍ភ្ជាប់លោហៈត្រូវបានសម្រេច។
ហេតុអ្វីបានជាវាត្រូវបានគេហៅថាដាម៉ាស?
ទីក្រុងដាម៉ាសគឺជារដ្ឋធានីនៃប្រទេសស៊ីរី ហើយដាវដាម៉ាសមានភាពល្បីល្បាញដោយសារភាពមុតស្រួច និងវាយនភាពដ៏ប្រណិតរបស់វា។ ដំណើរការចាក់ដាវប្រភេទមួយត្រូវបានទាមទារ៖ ដំបូង លំនាំដែលត្រូវការត្រូវបានឆ្លាក់លើផ្ទៃដែកដាម៉ាស ហើយសម្ភារៈដែលបានរៀបចំជាមុនត្រូវបានដាក់យ៉ាងតឹងចូលទៅក្នុងចង្អូរដែលឆ្លាក់។ បន្ទាប់ពីការចាក់ដាវត្រូវបានបញ្ចប់ ផ្ទៃអាចមិនស្មើគ្នាបន្តិច។ សិប្បករនឹងប៉ូលាវាដោយប្រុងប្រយ័ត្នដើម្បីធានាបាននូវភាពរលោងទាំងមូល។ ហើយដំណើរការនេះគឺជាគំរូដើមនៃដំណើរការដាម៉ាសពីរនៃបន្ទះឈីប។ ដំបូង ចង្អូរ ឬរន្ធត្រូវបានឆ្លាក់នៅក្នុងស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិច ហើយបន្ទាប់មកដែកត្រូវបានបំពេញនៅក្នុងនោះ។ បន្ទាប់ពីបំពេញ ដែកលើសនឹងត្រូវបានយកចេញដោយ cmp។
ជំហានសំខាន់ៗនៃដំណើរការដាម៉ាសសេនពីររួមមាន៖
▪ ការដាក់ស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិច៖
ដាក់ស្រទាប់សម្ភារៈឌីអេឡិចត្រិច ដូចជាស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត (SiO2) លើស៊ីមីកុងដុកទ័រនំវ៉ាហ្វើរ.
▪ ការថតចម្លងរូបភាពដើម្បីកំណត់លំនាំ៖
ប្រើការថតពន្លឺដើម្បីកំណត់លំនាំនៃច្រក និងលេណដ្ឋានលើស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិច។
▪ការឆ្លាក់:
ផ្ទេរលំនាំនៃច្រក និងលេណដ្ឋានទៅស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិចតាមរយៈដំណើរការឆ្លាក់ស្ងួត ឬសើម។
▪ ការដាក់លោហៈ៖
ដាក់លោហៈ ដូចជាទង់ដែង (Cu) ឬអាលុយមីញ៉ូម (Al) ទៅក្នុងច្រក និងលេណដ្ឋាន ដើម្បីបង្កើតជាចំណុចភ្ជាប់លោហៈ។
▪ ការប៉ូលាមេកានិចគីមី៖
ការប៉ូលាដោយមេកានិចគីមីលើផ្ទៃដែក ដើម្បីយកលោហៈលើសចេញ និងធ្វើឱ្យផ្ទៃរាបស្មើ។
បើប្រៀបធៀបទៅនឹងដំណើរការផលិតតំណភ្ជាប់លោហៈបែបប្រពៃណី ដំណើរការដាម៉ាសសេនពីរមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោម៖
▪ជំហានដំណើរការសាមញ្ញ៖តាមរយៈការបង្កើតច្រកឆ្លងកាត់ និងលេណដ្ឋានក្នុងពេលដំណាលគ្នាក្នុងជំហានដំណើរការដូចគ្នា ជំហានដំណើរការ និងពេលវេលាផលិតត្រូវបានកាត់បន្ថយ។
▪ប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មប្រសើរឡើង៖ដោយសារតែការកាត់បន្ថយជំហានដំណើរការ ដំណើរការដាម៉ាសសេនពីរអាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម។
▪ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃការតភ្ជាប់លោហៈ៖ដំណើរការដាម៉ាសសេនពីរអាចសម្រេចបាននូវការតភ្ជាប់លោហៈតូចចង្អៀត ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការរួមបញ្ចូលគ្នា និងដំណើរការនៃសៀគ្វី។
▪កាត់បន្ថយសមត្ថភាព និងភាពធន់របស់ប៉ារ៉ាស៊ីត៖ដោយប្រើសម្ភារៈឌីអេឡិចត្រិចកម្រិតទាប និងការធ្វើឲ្យរចនាសម្ព័ន្ធនៃការតភ្ជាប់លោហៈមានភាពប្រសើរឡើង សមត្ថភាពប៉ារ៉ាស៊ីត និងភាពធន់អាចត្រូវបានកាត់បន្ថយ ដែលធ្វើឲ្យល្បឿន និងការប្រើប្រាស់ថាមពលរបស់សៀគ្វីមានភាពប្រសើរឡើង។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៥ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៤