Grafito nešiklis PECVD procesui

Trumpas aprašymas:

Profesinio mokymo energijaPECVD grafitinė valtis saulės baterijoms yra pažangus komponentas, specialiai sukurtas didelio našumo saulės baterijų gamybai. Naudojama plazminio cheminio garinimo nusodinimo (PECVD) procesuose, ši grafitinė valtis užtikrina optimalų medžiagų apdorojimą ir tolygų plonų plėvelių nusodinimą ant saulės elementų. Sukurta siekiant tikslumo ir ilgaamžiškumo, ji pasižymi puikiu šilumos laidumu, dideliu atsparumu korozijai ir minimaliu užterštumu, kurie yra būtini efektyvių, aukštos kokybės saulės baterijų gamybai.

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

Profesinio mokymo energijaPECVD proceso grafito nešiklis yra aukštos kokybės eksploatacinė medžiaga, pritaikyta PECVD (plazma sustiprinto cheminio garų nusodinimo) procesui. Šis grafito nešiklis pagamintas iš didelio grynumo, didelio tankio grafito medžiagos, pasižyminčios puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, korozijai, matmenų stabilumu ir kitomis savybėmis, gali būti stabili nešiklio platforma PECVD procesui, užtikrinanti plonasluoksnio nusodinimo vienodumą ir plokštumą.

Grafito nešikliai, skirti PECVD procesui, pasižymi šiomis savybėmis:

▪ Didelis grynumas: itin mažas priemaišų kiekis, padedantis išvengti plėvelės užteršimo ir užtikrinti plėvelės kokybę.

▪ Didelis tankis: didelis tankis, didelis mechaninis stiprumas, gebėjimas atlaikyti aukštą temperatūrą ir aukštą slėgį PECVD aplinkoje.

▪ Geras matmenų stabilumas: mažas matmenų pokytis aukštoje temperatūroje, užtikrinantis proceso stabilumą.

▪ Puikus šilumos laidumas: efektyviai perduoda šilumą, kad plokštelė neperkaistų.

▪ Didelis atsparumas korozijai: geba atsispirti įvairių korozinių dujų ir plazmos sukeliamai erozijai.

▪ Individualus aptarnavimas: įvairių dydžių ir formų grafito laikikliai gali būti pritaikyti pagal kliento poreikius.

Grafito medžiaga iš SGL:

Tipinis parametras: R6510
Indeksas	Bandymo standartas	Vertė	Vienetas
Vidutinis grūdų dydis	ISO 13320	10	μm
Tūrinis tankis	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Atviras poringumas	DIN66133	10	%
Vidutinis porų dydis	DIN66133	1.8	μm
Pralaidumas	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvelo kietumas HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Savitoji elektrinė varža	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lenkimo stipris	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Gniuždymo stipris	DIN 51910	130	MPa
Youngo modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Šiluminis plėtimasis (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Šilumos laidumas (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Jis specialiai sukurtas didelio efektyvumo saulės elementų gamybai, palaikant didelio dydžio G12 plokštelių apdorojimą. Optimizuotas laikiklio dizainas žymiai padidina našumą, todėl padidėja našumas ir sumažėja gamybos sąnaudos.

Prekė	Tipas	Skaičių plokštelių laikiklis
PEVCD Grephite valtis - 156 serija	156-13 grefito valtis	144
	156-19 grefito valtis	216
	156-21 grefito valtis	240
	156-23 grafito valtis	308
PEVCD Grephite valtis - 125 serija	125-15 grefito valtis	196
	125-19 grefito valtis	252
	125-21 grafito valtis	280