PECVD grafito plokštelių atrama

PECVD grafito plokštelių atramos paveikslėlis

Trumpas aprašymas:

Sukurtas tikslumui ir našumui, „VET Energy“ grafitinė plokštelių atrama yra ideali medžiaga naudoti pažangiame plokštelių apdirbime, kur labai svarbus didelis terminis stabilumas ir pastovus veikimas. Nesvarbu, ar dirbate su puslaidininkinėmis plokštelėmis, ar kitais jautriais pagrindais, ši aukštos kokybės grafitinė atrama padidins jūsų proceso patikimumą ir produkto kokybę, todėl ji taps nepakeičiamu šiuolaikinės gamybos komponentu.

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

„VET Energy“ PECVD proceso grafito plokštelių atrama yra pagrindinė eksploatacinė medžiaga, skirta PECVD (plazma sustiprinto cheminio garų nusodinimo) procesui. Šis gaminys pagamintas iš didelio grynumo, didelio tankio grafito medžiagos, pasižyminčios puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, korozijai, matmenų stabilumu ir kitomis savybėmis, gali suteikti stabilią atraminę platformą PECVD procesui, užtikrinant plėvelės nusodinimo vienodumą ir plokštumą.

„VET Energy“ grafito plokštelių atramos „grafito atramos“ konstrukcija gali ne tik efektyviai išlaikyti plokštelę, bet ir užtikrinti terminį stabilumą aukštoje temperatūroje ir aukšto slėgio PECVD aplinkoje, kad būtų užtikrintas proceso stabilumas.

VET Energy PECVD proceso grafito plokštelių laikiklis pasižymi šiomis savybėmis:

▪Didelis grynumas:itin mažas priemaišų kiekis, siekiant išvengti plėvelės užteršimo, siekiant užtikrinti plėvelės kokybę.

▪Didelis tankis:Didelio tankio, didelio mechaninio stiprumo, gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir aukštą slėgį PECVD aplinkoje.

▪Geras matmenų stabilumas:maži matmenų pokyčiai aukštoje temperatūroje, siekiant užtikrinti proceso stabilumą.

▪Puikus šilumos laidumas:efektyviai perduoda šilumą, kad plokštelės neperkaistų.

▪Stiprus atsparumas korozijai:Geba atsispirti įvairių korozinių dujų ir plazmos erozijai.

▪Individualus aptarnavimas:Įvairių dydžių ir formų grafitiniai atraminiai stalai gali būti pritaikyti pagal kliento poreikius.

Grafito medžiaga iš SGL:

Tipinis parametras: R6510
Indeksas	Bandymo standartas	Vertė	Vienetas
Vidutinis grūdų dydis	ISO 13320	10	μm
Tūrinis tankis	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Atviras poringumas	DIN66133	10	%
Vidutinis porų dydis	DIN66133	1.8	μm
Pralaidumas	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvelo kietumas HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Savitoji elektrinė varža	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lenkimo stipris	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Gniuždymo stipris	DIN 51910	130	MPa
Youngo modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Šiluminis plėtimasis (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Šilumos laidumas (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Jis specialiai sukurtas didelio efektyvumo saulės elementų gamybai, palaikant didelio dydžio G12 plokštelių apdorojimą. Optimizuotas laikiklio dizainas žymiai padidina našumą, todėl padidėja našumas ir sumažėja gamybos sąnaudos.

Prekė	Tipas	Skaičių plokštelių laikiklis
PEVCD Grephite valtis - 156 serija	156-13 grefito valtis	144
	156-19 grefito valtis	216
	156-21 grefito valtis	240
	156-23 grafito valtis	308
PEVCD Grephite valtis - 125 serija	125-15 grefito valtis	196
	125-19 grefito valtis	252
	125-21 grafito valtis	280