Savybės:
· Puikus atsparumas terminiam smūgiui
· Puikus atsparumas fiziniams smūgiams
· Puikus atsparumas cheminėms medžiagoms
· Ypač didelis grynumas
· Prieinamumas sudėtingos formos
· Galima naudoti oksiduojančioje atmosferoje
Taikymas:
Produkto savybės ir privalumai:
1. Geresnis šiluminis atsparumas:Su dideliu grynumuSiC danga, substratas atlaiko ekstremalias temperatūras, užtikrindamas pastovų veikimą sudėtingose aplinkose, tokiose kaip epitaksija ir puslaidininkių gamyba.
2. Padidintas patvarumas:SiC dengti grafito komponentai yra sukurti taip, kad būtų atsparūs cheminei korozijai ir oksidacijai, todėl pailgėja pagrindo tarnavimo laikas, palyginti su standartiniais grafito pagrindais.
3. Stikliniu sluoksniu padengtas grafitas:Unikali stiklakūnio struktūraSiC dangaužtikrina puikų paviršiaus kietumą, sumažinant nusidėvėjimą apdorojant aukštoje temperatūroje.
4. Didelio grynumo SiC danga:Mūsų substratas užtikrina minimalų užterštumą jautriuose puslaidininkių procesuose, suteikdamas patikimumą pramonės šakoms, kurioms keliami griežti medžiagų grynumo reikalavimai.
5. Platus rinkos pritaikymas:TheSiC dengtas grafito susceptoriusrinka toliau auga, nes didėja pažangių SiC dengtų gaminių paklausa puslaidininkių gamyboje, todėl šis substratas užima svarbią vietą tiek grafito plokštelių laikiklių rinkoje, tiek silicio karbidu dengtų grafito padėklų rinkoje.
Tipinės bazinės grafito medžiagos savybės:
| Matomas tankis: | 1,85 g/cm³ |
| Elektrinė varža: | 11 μΩm |
| Lenkimo stipris: | 49 MPa (500 kgf/cm²) |
| Kietumas pagal krantą: | 58 |
| Pelenai: | <5 ppm |
| Šilumos laidumas: | 116 W/mK (100 kcal/mh-℃) |
| ŠSD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės CVD SiC fizinės savybėsdanga | |
| 性质 / Nuosavybė | 典型数值 / Tipinė vertė |
| 晶体结构 / Crystal Structure | FCC β fazė 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tankis | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Kietumas | 2500 维氏硬度 (500 g apkrova) |
| 晶粒大小 / Grūdų dydis | 2–10 μm |
| 纯度 / Cheminis grynumas | 99,99995% |
| 热容 / Šilumos talpa | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimacijos temperatūra | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Lanksčioji jėga | 415 MPa RT 4 taškų |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃ |
| 导热系数 / Šilumos laidumas | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / terminis plėtimasis (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
„VET Energy“ yra tikrasis individualiai pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių su įvairiomis dangomis, tokiomis kaip SiC, TaC, stiklinės anglies, pirolizės anglies ir kt., gamintojas, galintis tiekti įvairias individualiai pritaikytas dalis puslaidininkių ir fotovoltinių įrenginių pramonei.
Mūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnių medžiagų sprendimų.
Nuolat tobuliname pažangius procesus, kad galėtume tiekti pažangesnes medžiagas, ir sukūrėme išskirtinę patentuotą technologiją, kuri gali sustiprinti dangos ir pagrindo sukibimą ir sumažinti jautrumą atsiskyrimui.
Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime daugiau!
