Cechy:
· Doskonała odporność na szok termiczny
· Doskonała odporność na wstrząsy fizyczne
· Doskonała odporność chemiczna
· Super wysoka czystość
· Dostępność w złożonym kształcie
·Można stosować w atmosferze utleniającej
Aplikacja:
Cechy i zalety produktu:
1. Wyższa odporność termiczna:Z wysoką czystościąPowłoka SiCPodłoże wytrzymuje ekstremalne temperatury, zapewniając spójną wydajność w wymagających środowiskach, takich jak epitaksja i produkcja półprzewodników.
2. Zwiększona trwałość:Elementy grafitowe pokryte SiC zaprojektowano tak, aby były odporne na korozję chemiczną i utlenianie, co wydłuża żywotność podłoża w porównaniu do standardowych podłoży grafitowych.
3. Grafit powlekany szkliwem:Unikalna struktura szklistaPowłoka SiCzapewnia doskonałą twardość powierzchni, minimalizując zużycie i uszkodzenia powstające podczas obróbki w wysokiej temperaturze.
4. Powłoka SiC o wysokiej czystości:Nasze podłoże gwarantuje minimalne zanieczyszczenie w delikatnych procesach półprzewodnikowych, oferując niezawodność w branżach wymagających rygorystycznej czystości materiałów.
5. Szerokie zastosowanie rynkowe:TenSusceptor grafitowy powlekany SiCRynek ten nadal się rozwija, gdyż zwiększa się popyt na zaawansowane produkty powlekane węglikiem krzemu (SiC) w produkcji półprzewodników, co stawia to podłoże na pozycji kluczowego gracza zarówno na rynku nośników płytek grafitowych, jak i na rynku tacek grafitowych powlekanych węglikiem krzemu.
Typowe właściwości bazowego materiału grafitowego:
| Gęstość pozorna: | 1,85g/cm3 |
| Rezystywność elektryczna: | 11 μΩm |
| Wytrzymałość na zginanie: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Twardość Shore’a: | 58 |
| Popiół: | <5 ppm |
| Przewodność cieplna: | 116 W/mK (100 kcal/mh-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne SiC CVDpowłoka | |
| 性质 / Property | 典型数值 / Typowa wartość |
| 晶体结构 / Struktura kryształu | Faza β FCC 多晶,主要为(111)取向 |
| 密度 / Gęstość | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Twardość | 2500 维氏硬度 (ładunek 500g) |
| 晶粒大小 / Rozmiar ziarna | 2~10μm |
| 纯度 / Czystość chemiczna | 99,99995% |
| 热容 / Pojemność cieplna | 640 Jkg-1·K-1 |
| Temperatura sublimacji | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
| 杨氏模量 / Moduł Younga | 430 Gpa 4-punktowe zgięcie, 1300℃ |
| 导热系数 / Przewodność cieplna | 300 W·m-1·K-1 |
| Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy to prawdziwy producent niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp., który może dostarczać różnorodne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodnikowego i fotowoltaicznego.
Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może zapewnić Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.
Ciągle udoskonalamy zaawansowane procesy, aby dostarczać coraz lepsze materiały. Opracowaliśmy też opatentowaną technologię, dzięki której połączenie powłoki z podłożem jest silniejsze i mniej podatne na odrywanie.
Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy!
