අර්ධ සන්නායක සඳහා SiC ආලේපනය/ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් උපස්ථරය/තැටි

කෙටි විස්තරය:

එපිටැක්සියල් වර්ධනය සඳහා VET බලශක්ති SiC ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් සසෙප්ටරය යනු දීර්ඝ කාලයක් පුරා ස්ථාවර සහ විශ්වාසදායක කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත නිෂ්පාදනයකි. එයට සුපිරි හොඳ තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ඒකාකාරිත්වය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඛාදන ප්‍රතිරෝධය ඇති අතර, එය වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ විසඳුම බවට පත් කරයි.


නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

අර්ධ සන්නායක සඳහා ග්‍රැෆයිට් සසෙප්ටරයේ SiC ආලේපනය/ආලේපනය
 
එමSiC ආලේපිත මිනිරන් උපස්ථරයඅර්ධ සන්නායක සැකසුම් කර්මාන්තයේ දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉතා කල් පවතින සහ කාර්යක්ෂම විසඳුමකි. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් තට්ටුවක් සහිතයි.සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ආලේපනය, මෙම උපස්ථරය සුවිශේෂී තාප ස්ථායිතාව, ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය සහ දිගු සේවා කාලය ලබා දෙන අතර, එය MOCVD ක්‍රියාවලීන්, ග්‍රැෆයිට් වේෆර් වාහක සහ අනෙකුත් ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල යෙදීම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.

 විශේෂාංග: 
· විශිෂ්ට තාප කම්පන ප්‍රතිරෝධය
· විශිෂ්ට භෞතික කම්පන ප්‍රතිරෝධය
· විශිෂ්ට රසායනික ප්‍රතිරෝධයක්
· සුපිරි ඉහළ සංශුද්ධතාවය
· සංකීර්ණ හැඩයෙන් ලබා ගත හැකි බව
· ඔක්සිකාරක වායුගෝලය යටතේ භාවිතා කළ හැකිය

අයදුම්පත:

3 යි

නිෂ්පාදන විශේෂාංග සහ වාසි:

1. සුපිරි තාප ප්‍රතිරෝධය:ඉහළ පිරිසිදුකමකින්SiC ආලේපනය, උපස්ථරය අධික උෂ්ණත්වයන්ට ඔරොත්තු දෙන අතර, එපිටැක්සි සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය වැනි ඉල්ලුමක් ඇති පරිසරයන්හි ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කරයි.

2. වැඩි දියුණු කළ කල්පැවැත්ම:SiC ආලේපිත මිනිරන් සංරචක රසායනික විඛාදනයට සහ ඔක්සිකරණයට ප්‍රතිරෝධය දැක්වීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, සම්මත මිනිරන් උපස්ථර හා සසඳන විට උපස්ථරයේ ආයු කාලය වැඩි කරයි.

3. වීදුරු ආලේපිත මිනිරන්:අද්විතීය වීදුරු ව්‍යුහයSiC ආලේපනයවිශිෂ්ට මතුපිට දෘඪතාවක් ලබා දෙන අතර, ඉහළ උෂ්ණත්ව සැකසුම් වලදී ඇඳීම් සහ ඉරීම් අවම කරයි.

4. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC ආලේපනය:අපගේ උපස්ථරය සංවේදී අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි අවම දූෂණය සහතික කරයි, දැඩි ද්‍රව්‍ය සංශුද්ධතාවය අවශ්‍ය කර්මාන්ත සඳහා විශ්වසනීයත්වය ලබා දෙයි.

5. පුළුල් වෙළඳපල යෙදුම:එමSiC ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් ප්‍රතිග්‍රාහකයඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ උසස් SiC ආලේපිත නිෂ්පාදන සඳහා ඇති ඉල්ලුම වැඩි වන විට වෙළඳපල අඛණ්ඩව වර්ධනය වන අතර, මෙම උපස්ථරය ග්‍රැෆයිට් වේෆර් වාහක වෙළඳපොළ සහ සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත ග්‍රැෆයිට් තැටි වෙළඳපොළ යන දෙකෙහිම ප්‍රධාන ක්‍රීඩකයෙකු ලෙස ස්ථානගත කරයි.

මූලික මිනිරන් ද්‍රව්‍යවල සාමාන්‍ය ගුණාංග:

දෘශ්‍ය ඝනත්වය: 1.85 ග්රෑම්/සෙ.මී.3
විද්‍යුත් ප්‍රතිරෝධකතාව: 11 μΩm
නම්‍යශීලී ශක්තිය: 49 MPa (500kgf/cm2)
වෙරළ දෘඪතාව: 58
අළු: <5ppm
තාප සන්නායකතාවය: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

සීවීඩී SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය

性质 / දේපල

典型数值 / සාමාන්‍ය අගය

晶体结构 / ස්ඵටික ව්යුහය

FCC β අදියර 多晶,主要为(111)取向

密度 / ඝනත්වය

3.21 g/cm³

硬度 / දෘඪතාව

2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර)

晶粒大小 / ධාන්ය SiZe

2~10μm

纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය

99.99995%

热容 / තාප ධාරිතාව

640 ජූ·කි.ග්‍රෑ.-1·කේ-1

升华温度 / Sublimation උෂ්ණත්වය

2700℃ උෂ්ණත්වය

抗弯强度 / Flexural ශක්තිය

415 MPa RT 4-ලක්ෂ්‍යය

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃

导热系数 / තාප සන්නායකතාවය

300W·මී-1·කේ-1

热膨胀系数 / තාප ප්‍රසාරණය(CTE)

4.5 × 10-6K-1

1 යි

2

 

 

VET Energy යනු SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිරොලිටික් කාබන් ආලේපනය යනාදී විවිධ ආලේපන සහිත අභිරුචිකරණය කළ මිනිරන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදනවල සැබෑ නිෂ්පාදකයා වන අතර අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්ත සඳහා විවිධ අභිරුචිකරණය කළ කොටස් සැපයිය හැකිය.

අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්‍රව්‍යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.

අපි වඩාත් දියුණු ද්‍රව්‍ය සැපයීම සඳහා අඛණ්ඩව දියුණු ක්‍රියාවලීන් සංවර්ධනය කරන අතර, ආලේපනය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධනය වඩාත් තද කර වෙන්වීමට ඇති ඉඩකඩ අඩු කළ හැකි සුවිශේෂී පේටන්ට් බලපත්‍රලාභී තාක්ෂණයක් සකස් කර ඇත්තෙමු.

අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • පෙර:
  • ඊළඟ:

  • WhatsApp මාර්ගගත කතාබස්!