Giá đỡ tấm wafer than chì PECVD

Mô tả ngắn gọn:

Được thiết kế cho độ chính xác và hiệu suất cao, tấm đỡ wafer bằng than chì của VET Energy là vật liệu lý tưởng để sử dụng trong quy trình xử lý wafer tiên tiến, nơi độ ổn định nhiệt cao và hiệu suất ổn định là rất quan trọng. Cho dù bạn đang làm việc với wafer bán dẫn hay các chất nền mỏng manh khác, tấm đỡ than chì chất lượng cao này sẽ nâng cao độ tin cậy của quy trình và chất lượng sản phẩm, trở thành một thành phần không thể thiếu trong sản xuất hiện đại.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Tấm đỡ wafer bằng than chì của VET Energy dành cho quy trình PECVD là một vật tư tiêu hao thiết yếu được thiết kế cho quy trình PECVD (lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma). Sản phẩm này được làm từ vật liệu than chì có độ tinh khiết cao, mật độ cao, với khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, ổn định kích thước và các đặc tính khác tuyệt vời, có thể cung cấp một nền tảng hỗ trợ ổn định cho quy trình PECVD, đảm bảo tính đồng nhất và độ phẳng của lớp màng lắng đọng.

Thiết kế "giá đỡ than chì" của giá đỡ wafer than chì VET Energy không chỉ có thể hỗ trợ wafer một cách hiệu quả mà còn cung cấp sự ổn định nhiệt trong môi trường PECVD nhiệt độ và áp suất cao để đảm bảo tính ổn định của quá trình.

Tấm đỡ wafer bằng than chì của quy trình PECVD của VET Energy có các đặc điểm sau:

▪Độ tinh khiết cao:Hàm lượng tạp chất cực thấp, tránh làm nhiễm bẩn phim, đảm bảo chất lượng phim.

▪Mật độ cao:Mật độ cao, độ bền cơ học cao, có thể chịu được môi trường PECVD nhiệt độ và áp suất cao.

▪Độ ổn định kích thước tốt:Những thay đổi nhỏ về kích thước ở nhiệt độ cao nhằm đảm bảo tính ổn định của quá trình.

▪Khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời:Truyền nhiệt hiệu quả để ngăn ngừa hiện tượng quá nhiệt ở tấm bán dẫn.

▪Khả năng chống ăn mòn cao:Có khả năng chống lại sự ăn mòn bởi nhiều loại khí ăn mòn và plasma.

▪Dịch vụ tùy chỉnh:Các loại bàn kê bằng than chì với nhiều kích thước và hình dạng khác nhau có thể được tùy chỉnh theo nhu cầu của khách hàng.

Vật liệu than chì từ SGL:

Thông số điển hình: R6510
Mục lục	Tiêu chuẩn thử nghiệm	Giá trị	Đơn vị
Kích thước hạt trung bình	ISO 13320	10	μm
Mật độ khối	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Độ xốp mở	DIN66133	10	%
Kích thước lỗ chân lông trung bình	DIN66133	1.8	μm
Tính thấm	DIN 51935	0,06	cm²/s
Độ cứng Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Điện trở suất riêng	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Sức mạnh uốn	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Cường độ nén	DIN 51910	130	MPa
Mô đun Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Sự giãn nở nhiệt (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Độ dẫn nhiệt (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Công nghệ này được thiết kế đặc biệt cho việc sản xuất pin mặt trời hiệu suất cao, hỗ trợ xử lý tấm wafer kích thước lớn G12. Thiết kế chất mang được tối ưu hóa giúp tăng đáng kể thông lượng, cho phép tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng cao hơn và chi phí sản xuất thấp hơn.

Mục	Kiểu	Giá đỡ wafer số
Thuyền PEVCD Grephite - Dòng 156	156-13 thuyền Grephite	144
	156-19 thuyền Grephite	216
	156-21 thuyền grephite	240
	Thuyền graphite 156-23	308
Thuyền PEVCD Grephite - Dòng 125	thuyền grephite 125-15	196
	thuyền grephite 125-19	252
	Thuyền grphite 125-21	280