Àtìlẹ́yìn Wafer Graphite PECVD

Àpèjúwe Kúkúrú:

A ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ fún ìṣedéédé àti ìṣiṣẹ́, VET Energy's Graphite Wafer Support jẹ́ ohun èlò tó dára jùlọ fún lílo nínú iṣẹ́ wafer tó ti ní ìlọsíwájú, níbi tí ìdúróṣinṣin ooru gíga àti iṣẹ́ tó dúró ṣinṣin ṣe pàtàkì. Yálà o ń ṣiṣẹ́ pẹ̀lú àwọn wafer semiconductor tàbí àwọn ohun èlò mìíràn tó jẹ́ onírẹ̀lẹ̀, àtìlẹ́yìn graphite tó ga yìí yóò mú kí iṣẹ́ rẹ túbọ̀ lágbára sí i àti dídára ọjà, èyí tó máa jẹ́ kí ó jẹ́ ohun pàtàkì fún iṣẹ́ ṣíṣe òde òní.

Fi imeeli ranṣẹ si wa Ṣe ìgbàsókè gẹ́gẹ́ bíi PDF

Àlàyé Ọjà

Àwọn àmì ọjà

Agbara VET Atilẹyin wafer ilana PECVD jẹ ohun elo pataki ti a ṣe apẹrẹ fun ilana PECVD (ipo ti a mu dara si ninu plasma). Ọja yii jẹ ti ohun elo graphite giga, iwuwo giga, pẹlu resistance otutu giga ti o dara julọ, resistance ipata, iduroṣinṣin iwọn ati awọn abuda miiran, o le pese ipilẹ atilẹyin iduroṣinṣin fun ilana PECVD, lati rii daju pe iṣọkan ati fifẹ ti ifipamọ fiimu naa.

Apẹrẹ "atilẹyin graphite" ti atilẹyin wafer VET Energy graphite kii ṣe le ṣe atilẹyin wafer naa ni imunadoko nikan, ṣugbọn tun pese iduroṣinṣin ooru ni ayika iwọn otutu giga ati titẹ giga PECVD lati rii daju pe ilana naa duro ṣinṣin.

Agbara VET. Atilẹyin wafer PECVD ilana PECVD ni awọn abuda wọnyi:

▪Mímọ́ gíga:akoonu àìmọ́ tó kéré gan-an, yẹra fún ìbàjẹ́ fíìmù náà, láti rí i dájú pé fíìmù náà dára.

▪Iwọn iwuwo giga:iwuwo giga, agbara ẹrọ giga, le koju iwọn otutu giga ati ayika titẹ giga PECVD.

▪Iduroṣinṣin onisẹpo to dara:Àwọn ìyípadà oníwọ̀n kékeré ní iwọ̀n otútù gíga láti rí i dájú pé iṣẹ́ náà dúró ṣinṣin.

▪Agbara itanna ooru to dara julọ:gbe ooru ni imunadoko lati dena ilora wafer.

▪Agbara resistance ipata:Agbara lati koju ibajẹ nipasẹ awọn gaasi onibajẹ ati pilasima.

▪Iṣẹ́ àdáni:A le ṣe àtúnṣe àwọn tábìlì àtìlẹ́yìn graphite ti àwọn ìwọ̀n àti ìrísí onírúurú gẹ́gẹ́ bí àwọn àìní oníbàárà.

Ohun èlò graphite láti SGL:

Àmì tí ó wọ́pọ̀: R6510
Àtọ́ka	Iwọn idanwo	Iye	Ẹyọ kan
Iwọn ọkà apapọ	ISO 13320	10	μm
Ìwọ̀n púpọ̀	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Àwọn ihò tí ó ṣí sílẹ̀	DIN66133	10	%
Ìwọ̀n ihò àárín	DIN66133	1.8	μm
Àìníláàyè	DIN 51935	0.06	cm²/s
Líle líle Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Idaabobo itanna pataki	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Agbára ìrọ̀rùn	DIN IEC 60413/501	60	MPA
Agbára ìfúnpọ̀	DIN 51910	130	MPA
Mọ́dúlùsì ọ̀dọ́	DIN 51915	11.5×10³	MPA
Ìfẹ̀sí gbígbóná (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Igbona elekitiriki (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

A ṣe apẹrẹ rẹ̀ ní pàtó fún ṣíṣe àwọn sẹ́ẹ̀lì oorun tó lágbára, tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ṣíṣe iṣẹ́ wafer ńlá G12. Apẹẹrẹ ẹ̀rọ tí a ṣe àtúnṣe mú kí iṣẹ́ náà pọ̀ sí i, èyí sì ń jẹ́ kí iye owó iṣẹ́ náà pọ̀ sí i, ó sì ń dín iye owó iṣẹ́ náà kù.

Ohun kan	Irú	Olùgbé nọ́mbà wafer
Ọkọ̀ ojú omi PEVCD Grephite - Àwọn ìpele 156	Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-13	144
	Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-19	216
	Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-21	240
	Ọkọ̀ ojú omi graphite 156-23	308
Ọkọ̀ ojú omi PEVCD Grephite - Àwọn jara 125	Ọkọ̀ ojú omi grephite 125-15	196
	Ọkọ̀ ojú omi grephite 125-19	252
	Ọkọ̀ ojú omi 125-21 gífítì	280