平面型赤色LED結晶の製造のために、基板ASPタイプ(ET0.032.512TU)で製造された構造と同様のガリウムヒ素リン化物エピタキシャル構造。
基本的な技術パラメータ
ガリウムヒ素リン化物構造へ
| 1.基板GaAs | |
| a. 導電率タイプ | 電子 |
| b. 抵抗率、オーム・センチメートル | 0.008 |
| c. 結晶格子の配向 | (100) |
| d. 表面の向きのずれ | (1−3)° |
| 2. エピタキシャル層 GaAs1-x Px | |
| a. 導電率タイプ | 電子 |
| b. 遷移層におけるリン含有量 | x = 0 から x ≈ 0.4 まで |
| c. 一定組成層におけるリン含有量 | x ≈ 0.4 |
| d. キャリア濃度、cm3 | (0,2−3,0)·1017 |
| e. フォトルミネッセンススペクトルの最大値における波長(nm) | 645~673 nm |
| f. 発光スペクトルの最大値における波長 | 650~675 nm |
| g. 一定の層厚(ミクロン) | 少なくとも8nm |
| h. 層の厚さ(合計)、ミクロン | 少なくとも30nm |
| 3 エピタキシャル層を有するプレート | |
| a. たわみ(ミクロン) | 最大100μm |
| b. 厚さ(ミクロン) | 360~600μm |
| c. 平方センチメートル | 少なくとも6cm2 |
| d. 比光度(拡散Zn後)、cd/amp | 最低0.05 cd/amp |











