ហេតុអ្វីបានជាប្រអប់នំវ៉ាហ្វើរមួយមាននំវ៉ាហ្វើរចំនួន ២៥?

នៅក្នុងពិភពបច្ចេកវិទ្យាទំនើប ដ៏ទំនើប និងពោរពេញដោយភាពជឿនលឿននំវ៉ាហ្វើរដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាបន្ទះស៊ីលីកុន គឺជាសមាសធាតុស្នូលនៃឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ ពួកវាជាមូលដ្ឋានសម្រាប់ផលិតសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិចផ្សេងៗដូចជាមីក្រូប្រូសេសស័រ អង្គចងចាំ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា។ល។ ហើយបន្ទះស៊ីលីកុននីមួយៗមានសក្តានុពលនៃសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិចរាប់មិនអស់។ ដូច្នេះហេតុអ្វីបានជាយើងឃើញបន្ទះស៊ីលីកុនចំនួន ២៥ នៅក្នុងប្រអប់មួយ? តាមពិតមានការពិចារណាខាងវិទ្យាសាស្ត្រ និងសេដ្ឋកិច្ចនៃផលិតកម្មឧស្សាហកម្មនៅពីក្រោយរឿងនេះ។

 

បង្ហាញពីមូលហេតុដែលមាននំវ៉ាហ្វឺរចំនួន ២៥ ដុំក្នុងប្រអប់មួយ

ដំបូង សូមយល់ពីទំហំនៃបន្ទះសៀគ្វី។ ទំហំបន្ទះសៀគ្វីស្តង់ដារជាធម្មតាមានទំហំ 12 អ៊ីញ និង 15 អ៊ីញ ដែលត្រូវសម្របខ្លួនទៅនឹងឧបករណ៍ និងដំណើរការផលិតកម្មផ្សេងៗគ្នា។បន្ទះសៀគ្វីទំហំ ១២ អ៊ីញបច្ចុប្បន្ន​នេះ គឺជាប្រភេទទូទៅបំផុត ពីព្រោះវាអាចផ្ទុកបន្ទះឈីបបានច្រើន និងមានតុល្យភាពល្អទាក់ទងនឹងថ្លៃដើម និងប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម។

ចំនួន "25 ដុំ" មិនមែនជារឿងចៃដន្យទេ។ វាផ្អែកលើវិធីសាស្ត្រកាត់ និងប្រសិទ្ធភាពនៃការវេចខ្ចប់របស់បន្ទះសៀគ្វី។ បន្ទាប់ពីបន្ទះសៀគ្វីនីមួយៗត្រូវបានផលិត វាត្រូវកាត់ដើម្បីបង្កើតជាបន្ទះសៀគ្វីឯករាជ្យជាច្រើន។ ជាទូទៅ កបន្ទះសៀគ្វីទំហំ ១២ អ៊ីញអាចកាត់បន្ទះឈីបរាប់រយ ឬរាប់ពាន់បន្ទះ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ ដើម្បីភាពងាយស្រួលនៃការគ្រប់គ្រង និងការដឹកជញ្ជូន បន្ទះឈីបទាំងនេះជាធម្មតាត្រូវបានវេចខ្ចប់ក្នុងបរិមាណជាក់លាក់មួយ ហើយ 25 បន្ទះគឺជាជម្រើសបរិមាណទូទៅ ពីព្រោះវាមិនមានទំហំធំពេក ហើយក៏មិនធំពេកដែរ ហើយវាអាចធានាបាននូវស្ថេរភាពគ្រប់គ្រាន់ក្នុងអំឡុងពេលដឹកជញ្ជូន។

លើសពីនេះ បរិមាណ 25 ដុំក៏អំណោយផលដល់ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មផងដែរ។ ការផលិតជាបាច់អាចកាត់បន្ថយថ្លៃដើមដំណើរការនៃបំណែកតែមួយ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ សម្រាប់ការផ្ទុក និងការដឹកជញ្ជូន ប្រអប់បន្ទះសៀគ្វី 25 ដុំងាយស្រួលប្រើ និងកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការបាក់បែក។

គួរកត់សម្គាល់ថា ជាមួយនឹងការរីកចម្រើននៃបច្ចេកវិទ្យា ផលិតផលលំដាប់ខ្ពស់មួយចំនួនអាចប្រើប្រាស់កញ្ចប់មួយចំនួនធំ ដូចជា 100 ឬ 200 ដុំ ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មបន្ថែមទៀត។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ សម្រាប់ផលិតផលកម្រិតអ្នកប្រើប្រាស់ និងកម្រិតមធ្យមភាគច្រើន ប្រអប់បន្ទះសៀគ្វីចំនួន 25 ដុំ នៅតែជាការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធស្តង់ដារទូទៅមួយ។

សរុបមក ប្រអប់បន្ទះសៀគ្វីមួយជាធម្មតាមាន ២៥ ដុំ ដែលជាតុល្យភាពដែលរកឃើញដោយឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័ររវាងប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម ការគ្រប់គ្រងថ្លៃដើម និងភាពងាយស្រួលផ្នែកភស្តុភារ។ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យាជាបន្តបន្ទាប់ ចំនួននេះអាចត្រូវបានកែតម្រូវ ប៉ុន្តែតក្កវិជ្ជាជាមូលដ្ឋាននៅពីក្រោយវា - ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការផលិតកម្ម និងការកែលម្អអត្ថប្រយោជន៍សេដ្ឋកិច្ច - នៅតែមិនផ្លាស់ប្តូរ។

រោងចក្រផលិតបន្ទះសៀគ្វីទំហំ 12 អ៊ីញប្រើប្រាស់ FOUP និង FOSB ហើយបន្ទះសៀគ្វីទំហំ 8 អ៊ីញ និងក្រោមនេះ (រួមទាំង 8 អ៊ីញ) ប្រើ Cassette, SMIF POD និងប្រអប់បន្ទះសៀគ្វី wafer boat ពោលគឺបន្ទះសៀគ្វីទំហំ 12 អ៊ីញ។ថាស​ផ្ទុក​បន្ទះ​ស្តើងត្រូវបានគេហៅថា FOUP ហើយទំហំ ៨ អ៊ីញថាស​ផ្ទុក​បន្ទះ​ស្តើងត្រូវបានគេហៅថាជារួមថា កាសេត។ ជាធម្មតា FOUP ទទេមួយមានទម្ងន់ប្រហែល 4.2 គីឡូក្រាម ហើយ FOUP ដែលបំពេញដោយបន្ទះសៀគ្វីចំនួន 25 មានទម្ងន់ប្រហែល 7.3 គីឡូក្រាម។
យោងតាមការស្រាវជ្រាវ និងស្ថិតិរបស់ក្រុមស្រាវជ្រាវ QYResearch ការលក់ទីផ្សារប្រអប់បន្ទះសៀគ្វីសកលបានឈានដល់ ៤,៨ ពាន់លានយ័នក្នុងឆ្នាំ ២០២២ ហើយវាត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងឈានដល់ ៧,៧ ពាន់លានយ័នក្នុងឆ្នាំ ២០២៩ ជាមួយនឹងអត្រាកំណើនប្រចាំឆ្នាំសរុប (CAGR) ៧,៩%។ ទាក់ទងនឹងប្រភេទផលិតផល FOUP ពាក់កណ្តាលសៀគ្វីកាន់កាប់ចំណែកធំបំផុតនៃទីផ្សារទាំងមូល ប្រហែល ៧៣%។ ទាក់ទងនឹងការអនុវត្តផលិតផល ការអនុវត្តធំបំផុតគឺបន្ទះសៀគ្វីទំហំ ១២ អ៊ីញ បន្ទាប់មកគឺបន្ទះសៀគ្វីទំហំ ៨ អ៊ីញ។

តាមពិតទៅ មានឧបករណ៍ដឹកជញ្ជូនវ៉ាហ្វឺរជាច្រើនប្រភេទ ដូចជា FOUP សម្រាប់ការផ្ទេរវ៉ាហ្វឺរនៅក្នុងរោងចក្រផលិតវ៉ាហ្វឺរ; FOSB សម្រាប់ការដឹកជញ្ជូនរវាងរោងចក្រផលិតវ៉ាហ្វឺរស៊ីលីកុន និងរោងចក្រផលិតវ៉ាហ្វឺរ; ឧបករណ៍ដឹកជញ្ជូន CASSETTE អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដឹកជញ្ជូនអន្តរដំណើរការ និងប្រើប្រាស់រួមគ្នាជាមួយដំណើរការនានា។

 

កាសែតបើក

OPEN CASSETTE ភាគច្រើនត្រូវបានប្រើក្នុងការដឹកជញ្ជូនអន្តរដំណើរការ និងដំណើរការសម្អាតក្នុងការផលិតបន្ទះសៀគ្វី។ ដូច FOSB, FOUP និងឧបករណ៍ដឹកជញ្ជូនផ្សេងទៀតដែរ ជាទូទៅវាប្រើសម្ភារៈដែលធន់នឹងសីតុណ្ហភាព មានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងប្រើប្រាស់បានយូរ ប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត ការបញ្ចេញឧស្ម័នទាប ទឹកភ្លៀងទាប និងអាចកែច្នៃឡើងវិញបាន។ ទំហំបន្ទះសៀគ្វីផ្សេងៗគ្នា ចំណុចដំណើរការ និងសម្ភារៈដែលបានជ្រើសរើសសម្រាប់ដំណើរការផ្សេងៗគ្នាគឺខុសគ្នា។ សម្ភារៈទូទៅគឺ PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP ជាដើម។ ផលិតផលនេះត្រូវបានរចនាឡើងជាមួយនឹងសមត្ថភាព 25 បំណែក។

កាសស្តាប់បើកចំហអាចត្រូវបានប្រើរួមគ្នាជាមួយកាសដែលត្រូវគ្នាកាសែត Waferផលិតផលសម្រាប់ការផ្ទុក និងដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វីរវាងដំណើរការនានា ដើម្បីកាត់បន្ថយការចម្លងរោគបន្ទះសៀគ្វី។

OPEN CASSETTE ត្រូវបានប្រើរួមគ្នាជាមួយផលិតផល Wafer Pod (OHT) ដែលបានប្ដូរតាមបំណង ដែលអាចត្រូវបានអនុវត្តចំពោះការបញ្ជូនដោយស្វ័យប្រវត្តិ ការចូលប្រើដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងការផ្ទុកដែលបិទជិតបន្ថែមទៀតរវាងដំណើរការនានាក្នុងការផលិត wafer និងការផលិតបន្ទះឈីប។

ជាការពិតណាស់ OPEN CASSETTE អាចត្រូវបានផលិតដោយផ្ទាល់ទៅជាផលិតផល CASSETTE។ ផលិតផលប្រអប់ដឹកជញ្ជូន Wafer មានរចនាសម្ព័ន្ធដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាពខាងក្រោម។ វាអាចបំពេញតម្រូវការនៃការដឹកជញ្ជូន wafer ពីរោងចក្រផលិត wafer ទៅរោងចក្រផលិតបន្ទះឈីប។ CASSETTE និងផលិតផលផ្សេងទៀតដែលទទួលបានពីវាអាចបំពេញតម្រូវការនៃការបញ្ជូន ការផ្ទុក និងការដឹកជញ្ជូនអន្តររោងចក្ររវាងដំណើរការផ្សេងៗនៅក្នុងរោងចក្រ wafer និងរោងចក្រផលិតបន្ទះឈីប។

 

ប្រអប់ដឹកជញ្ជូនបន្ទះស្តើងបើកខាងមុខ FOSB

ប្រអប់ដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វីបើកខាងមុខ FOSB ត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វីទំហំ 12 អ៊ីញរវាងរោងចក្រផលិតបន្ទះសៀគ្វី និងរោងចក្រផលិតបន្ទះឈីប។ ដោយសារតែទំហំបន្ទះសៀគ្វីធំ និងតម្រូវការអនាម័យខ្ពស់ បំណែកកំណត់ទីតាំងពិសេស និងការរចនាធន់នឹងការប៉ះទង្គិចត្រូវបានប្រើដើម្បីកាត់បន្ថយភាពមិនបរិសុទ្ធដែលបង្កើតឡើងដោយការកកិតផ្លាស់ទីបន្ទះសៀគ្វី។ វត្ថុធាតុដើមត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុដើមដែលមានការបញ្ចេញឧស្ម័នទាប ដែលអាចកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការបញ្ចេញឧស្ម័នដែលបំពុលបន្ទះសៀគ្វី។ បើប្រៀបធៀបជាមួយប្រអប់បន្ទះសៀគ្វីដឹកជញ្ជូនផ្សេងទៀត FOSB មានភាពតឹងណែនខ្យល់ល្អជាង។ លើសពីនេះ នៅក្នុងរោងចក្រវេចខ្ចប់ផ្នែកខាងក្រោយ FOSB ក៏អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការផ្ទុក និងផ្ទេរបន្ទះសៀគ្វីរវាងដំណើរការផ្សេងៗ។

ជាទូទៅ FOSB ត្រូវបានផលិតជា 25 បំណែក។ បន្ថែមពីលើការផ្ទុក និងទាញយកដោយស្វ័យប្រវត្តិតាមរយៈប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសម្ភារៈស្វ័យប្រវត្តិ (AMHS) វាក៏អាចត្រូវបានដំណើរការដោយដៃផងដែរ។

ផត​បង្រួបបង្រួម​បើក​ខាងមុខ

ប្រអប់​បើក​ខាងមុខ (FOUP) ភាគច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការការពារ ការដឹកជញ្ជូន និងការផ្ទុកបន្ទះសៀគ្វីនៅក្នុងរោងចក្រ Fab។ វាគឺជាកុងតឺន័រដឹកជញ្ជូនដ៏សំខាន់សម្រាប់ប្រព័ន្ធដឹកជញ្ជូនដោយស្វ័យប្រវត្តិនៅក្នុងរោងចក្របន្ទះសៀគ្វីទំហំ 12 អ៊ីញ។ មុខងារសំខាន់បំផុតរបស់វាគឺធានាថាបន្ទះសៀគ្វីនីមួយៗចំនួន 25 ត្រូវបានការពារដោយវាដើម្បីជៀសវាងការបំពុលដោយធូលីនៅក្នុងបរិស្ថានខាងក្រៅក្នុងអំឡុងពេលបញ្ជូនរវាងម៉ាស៊ីនផលិតនីមួយៗ ដោយហេតុនេះប៉ះពាល់ដល់ទិន្នផល។ FOUP នីមួយៗមានបន្ទះភ្ជាប់ ម្ជុល និងរន្ធផ្សេងៗគ្នា ដូច្នេះ FOUP មានទីតាំងនៅលើច្រកផ្ទុក និងដំណើរការដោយ AMHS។ វាប្រើសម្ភារៈបញ្ចេញឧស្ម័នទាប និងសម្ភារៈស្រូបយកសំណើមទាប ដែលអាចកាត់បន្ថយការបញ្ចេញសមាសធាតុសរីរាង្គយ៉ាងច្រើន និងការពារការបំពុលបន្ទះសៀគ្វី។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ មុខងារផ្សាភ្ជាប់ និងបំប៉ោងដ៏ល្អឥតខ្ចោះអាចផ្តល់នូវបរិយាកាសសំណើមទាបសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វី។ លើសពីនេះ FOUP អាចត្រូវបានរចនាឡើងជាពណ៌ផ្សេងៗគ្នា ដូចជាក្រហម ទឹកក្រូច ខ្មៅ ថ្លា ជាដើម ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការដំណើរការ និងបែងចែកដំណើរការ និងដំណើរការផ្សេងៗគ្នា។ ជាទូទៅ FOUP ត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងដោយអតិថិជនយោងទៅតាមខ្សែផលិតកម្ម និងភាពខុសគ្នានៃម៉ាស៊ីនរបស់រោងចក្រ Fab។

លើសពីនេះ POUP អាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងទៅជាផលិតផលពិសេសសម្រាប់ក្រុមហ៊ុនផលិតវេចខ្ចប់ទៅតាមដំណើរការផ្សេងៗគ្នាដូចជា TSV និង FAN OUT នៅក្នុងការវេចខ្ចប់បន្ទះឈីបខាងក្រោយ ដូចជា SLOT FOUP, 297mm FOUP ជាដើម។ FOUP អាចកែច្នៃឡើងវិញបាន ហើយអាយុកាលរបស់វាគឺចន្លោះពី 2-4 ឆ្នាំ។ ក្រុមហ៊ុនផលិត FOUP អាចផ្តល់សេវាកម្មសម្អាតផលិតផលដើម្បីបំពេញតម្រូវការផលិតផលដែលមានមេរោគដែលត្រូវប្រើប្រាស់ម្តងទៀត។

 

ឧបករណ៍ដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វីផ្តេកដែលមិនប៉ះ

ឧបករណ៍ដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វីផ្តេកដែលមិនប៉ះត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការដឹកជញ្ជូនបន្ទះសៀគ្វីដែលបានបញ្ចប់ ដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាពខាងក្រោម។ ប្រអប់ដឹកជញ្ជូនរបស់ Entegris ប្រើចិញ្ចៀនទ្រទ្រង់ដើម្បីធានាថាបន្ទះសៀគ្វីមិនប៉ះគ្នាក្នុងអំឡុងពេលផ្ទុក និងដឹកជញ្ជូន ហើយមានការផ្សាភ្ជាប់ល្អដើម្បីការពារការចម្លងរោគ ការពាក់ ការប៉ះទង្គិច ការកោស ការបន្សាបឧស្ម័នជាដើម។ ផលិតផលនេះភាគច្រើនស័ក្តិសមសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីស្តើង 3D កញ្ចក់ ឬបន្ទះសៀគ្វីដែលមានស្នាមប៉ោង ហើយផ្នែកអនុវត្តរបស់វារួមមាន 3D, 2.5D, MEMS, LED និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកថាមពល។ ផលិតផលនេះត្រូវបានបំពាក់ដោយចិញ្ចៀនទ្រទ្រង់ចំនួន 26 ដែលមានសមត្ថភាពបន្ទះសៀគ្វីចំនួន 25 (មានកម្រាស់ខុសៗគ្នា) ហើយទំហំបន្ទះសៀគ្វីរួមមាន 150mm, 200mm និង 300mm។