특징:
· 우수한 열충격 저항성
· 우수한 물리적 충격 저항성
· 우수한 내화학성
· 초고순도
· 복잡한 형태로 이용 가능
·산화 분위기에서 사용 가능
애플리케이션:
제품 특징 및 장점:
1. 뛰어난 내열성:고순도로SiC 코팅기판은 극한의 온도를 견뎌내므로 에피택시 및 반도체 제조와 같은 까다로운 환경에서도 일관된 성능을 보장합니다.
2. 향상된 내구성:SiC 코팅된 흑연 구성 요소는 화학적 부식 및 산화에 저항하도록 설계되어 표준 흑연 기판에 비해 기판의 수명을 늘립니다.
3. 유리질 코팅 흑연:독특한 유리 구조SiC 코팅고온 가공 중 마모와 손상을 최소화하여 뛰어난 표면 경도를 제공합니다.
4. 고순도 SiC 코팅:당사의 기판은 민감한 반도체 공정에서 최소한의 오염만 보장하여 엄격한 재료 순도를 요구하는 산업에 신뢰성을 제공합니다.
5. 폭넓은 시장 적용:그만큼SiC 코팅 흑연 서셉터반도체 제조 분야에서 첨단 SiC 코팅 제품에 대한 수요가 증가함에 따라 시장이 지속적으로 성장하고 있으며, 이 기판은 흑연 웨이퍼 캐리어 시장과 실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이 시장 모두에서 핵심 업체로 자리매김하고 있습니다.
기본 흑연 재료의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85g/cm3 |
| 전기 저항률: | 11 μΩm |
| 굽힘 강도: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| 쇼어 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도도: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 性质 / 재산 | 典型数值 / 대표값 |
| 晶体结构 / 결정 구조 | FCC β 단계 多晶,主要为(111)取向 |
| 치수/밀도 | 3.21g/cm³ |
| 경도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 곡물 크기 | 2~10㎛ |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 热容 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화온도 | 2700℃ |
| 抗弯强degree / 굴곡강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模weight / 영률(Young's Modulus) | 430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃ |
| 导热系数 / 열전도율 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등 다양한 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 실리콘 카바이드 제품의 실제 제조업체로, 반도체 및 태양광 산업을 위한 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다.
당사의 기술팀은 국내 최고의 연구기관 출신으로, 귀하에게 보다 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.
당사는 더욱 진보된 소재를 제공하기 위해 끊임없이 첨단 공정을 개발하고 있으며, 코팅과 기질 사이의 결합을 더욱 단단하게 하고 분리 가능성을 낮추는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.
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