특징:
• 뛰어난 열충격 저항성
• 뛰어난 물리적 충격 저항성
• 뛰어난 내화학성
• 초고순도
• 복잡한 형태로 제공 가능
산화성 분위기에서 사용 가능
애플리케이션:
제품 특징 및 장점:
1. 뛰어난 열 저항성:고순도SiC 코팅이 기판은 극한의 온도에도 견딜 수 있어 에피택시 및 반도체 제조와 같은 까다로운 환경에서도 일관된 성능을 보장합니다.
2. 향상된 내구성:SiC 코팅된 흑연 부품은 화학적 부식 및 산화에 대한 저항성을 갖도록 설계되어 표준 흑연 기판에 비해 기판의 수명을 연장합니다.
3. 유리질 코팅 흑연:독특한 유리질 구조SiC 코팅탁월한 표면 경도를 제공하여 고온 가공 중 마모를 최소화합니다.
4. 고순도 SiC 코팅:당사의 기판은 민감한 반도체 공정에서 오염을 최소화하여 엄격한 재료 순도가 요구되는 산업 분야에 신뢰성을 제공합니다.
5. 폭넓은 시장 적용 가능성:그만큼SiC 코팅 흑연 서셉터반도체 제조 분야에서 고급 SiC 코팅 제품에 대한 수요가 증가함에 따라 시장은 지속적으로 성장하고 있으며, 이로 인해 SiC 기판은 흑연 웨이퍼 캐리어 시장과 탄화규소 코팅 흑연 트레이 시장 모두에서 핵심적인 역할을 하고 있습니다.
흑연 기본 소재의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85 g/cm3 |
| 전기 저항률: | 11 μΩm |
| 굽힘 강도: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| 쇼어 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도율: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| 심혈관계 질환 SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 性质 / 재산 | 典型数值 / 대표값 |
| 晶体结构 / 결정구조 | FCC β 단계 多晶,主要为(111)取向 |
| 치수/밀도 | 3.21 g/cm³ |
| 경도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 곡물 크기 | 2~10μm |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 热容 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화온도 | 2700℃ |
| 抗弯强degree / 굴곡강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模weight / 영률(Young's Modulus) | 430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃ |
| 导热系数 / 열전도율 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등 다양한 코팅이 적용된 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품의 실제 제조업체로서 반도체 및 태양광 산업에 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다.
저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 있어 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공해 드릴 수 있습니다.
당사는 더욱 우수한 소재를 제공하기 위해 첨단 공정을 지속적으로 개발해 왔으며, 코팅과 기판 사이의 접착력을 강화하고 박리 가능성을 줄이는 독자적인 특허 기술을 개발했습니다.
저희 공장 방문을 진심으로 환영합니다! 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다.
