중국 제조업체 SiC 코팅 흑연 MOCVD 에피택시 서셉터

순도 < 5ppm
▸ 우수한 도핑 균일성
▸ 높은 밀도와 접착력
▸내식성 및 내탄소성이 우수하다

▸ 전문적인 맞춤형 서비스
▸ 리드타임이 짧음
▸ 안정적인 공급
▸ 품질 관리 및 지속적인 개선

사파이어에 GaN의 에피택시(RGB/미니/마이크로 LED);
Si 기판 위의 GaN 에피택시(UVC);
Si 기판 위의 GaN 에피택시(전자기기)
Si 기판 위의 Si 에피택시(집적 회로);
SiC 기판 위의 SiC 에피택시(기질);
InP에 대한 InP의 에피택시

제품 상세 정보

중국에서 고품질 MOCVD 서셉터 온라인 구매

웨이퍼는 전자 소자에 사용하기 전에 여러 단계를 거쳐야 합니다. 중요한 공정 중 하나는 실리콘 에피택시 공정으로, 웨이퍼를 흑연 서셉터에 담는 공정입니다. 서셉터의 특성과 품질은 웨이퍼 에피택셜층의 품질에 중요한 영향을 미칩니다.

에피택시 또는 MOCVD와 같은 박막 증착 단계에서 VET는 기판 또는 "웨이퍼"를 지지하는 데 사용되는 초고순도 흑연 장비를 공급합니다. 공정의 핵심은 MOCVD용 에피택시 서셉터 또는 위성 플랫폼인 이 장비가 먼저 증착 환경에 노출된다는 것입니다.

● 고온.
● 고진공.
● 공격적인 기체 전구체의 사용.
● 오염 없음, 벗겨짐 없음.
● 세척 작업 중 강산에 대한 저항성

VET 에너지는 반도체 및 태양광 산업에 사용되는 맞춤형 흑연 및 실리콘 카바이드 코팅 제품을 생산하는 진정한 제조업체입니다. 국내 유수의 연구 기관 출신으로 구성된 기술팀은 고객에게 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공합니다.

당사는 더욱 진보된 소재를 제공하기 위해 끊임없이 첨단 공정을 개발하고 있으며, 코팅과 기질 사이의 결합을 더욱 단단하게 하고 분리 가능성을 낮추는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.

우리 제품의 특징:

1. 최대 1700℃ 고온 산화 저항성.
2. 높은 순도 및 열 균일성
3. 우수한 내식성: 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.
4. 경도가 높고, 표면이 치밀하며, 입자가 미세합니다.
5. 더 긴 서비스 수명과 더 내구성이 뛰어납니다.