중국 제조업체 SiC 코팅 흑연 MOCVD 에피택시 서셉터

간략한 설명:

순도 < 5ppm
‣ 우수한 도핑 균일성
‣ 높은 밀도와 접착력
‣ 우수한 내식성 및 탄소 저항성

‣ 전문적인 맞춤 제작
‣ 짧은 납기
‣ 안정적인 공급
‣ 품질 관리 및 지속적인 개선

사파이어 기판 위에 GaN 에피택시(RGB/미니/마이크로 LED)
Si 기판 위에 GaN 에피택시(UVC)
Si 기판 위에 GaN 에피택시(전자 기기)
실리콘 기판 위에 실리콘 에피택시(집적 회로);
SiC 기판 위에 SiC 에피택시(기질)
InP 상의 InP 에피택시

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제품 상세 정보

제품 태그

중국에서 고품질 MOCVD 서셉터를 온라인으로 구매하세요

웨이퍼는 전자 기기에 사용되기 전에 여러 단계를 거쳐야 합니다. 중요한 공정 중 하나는 실리콘 에피택시인데, 이 공정에서는 웨이퍼가 흑연 서셉터 위에 증착됩니다. 서셉터의 특성과 품질은 웨이퍼의 에피택시층 품질에 결정적인 영향을 미칩니다.

에피택시 또는 MOCVD와 같은 박막 증착 단계에서 VET는 기판 또는 "웨이퍼"를 지지하는 데 사용되는 초고순도 흑연 장비를 공급합니다. 이 공정의 핵심인 에피택시 서셉터 또는 MOCVD용 위성 플랫폼과 같은 장비는 먼저 증착 환경에 노출됩니다.

● 고온.
● 고진공.
● 공격적인 기체 전구물질의 사용.
● 오염 제로, 벗겨짐 없음.
● 세척 작업 중 강산에 대한 내성

VET Energy는 반도체 및 태양광 산업용 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품 코팅 전문 제조업체입니다. 국내 최고 연구기관 출신의 기술진이 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공해 드립니다.

당사는 더욱 우수한 소재를 제공하기 위해 첨단 공정을 지속적으로 개발해 왔으며, 코팅과 기판 사이의 접착력을 강화하고 박리 가능성을 줄이는 독자적인 특허 기술을 개발했습니다.

당사 제품의 특징:

1. 최대 1700℃의 고온 산화 저항성.
2. 높은 순도 및 열적 균일성
3. 뛰어난 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 강함.
4. 높은 경도, 치밀한 표면, 미세한 입자.
5. 더 긴 수명과 뛰어난 내구성

심혈관계 질환 SiC CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정질이며, 주로 (111) 방향으로 배향되어 있다.
밀도	3.21 g/cm³
경도	비커스 경도 2500 (500g 하중)
곡물 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640 J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굽힘 강도	415 MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10^-6K^-1