PECVD grafittskivestøtte

Kort beskrivelse:

VET Energys grafittskivestøtte er designet for presisjon og ytelse, og er det ideelle materialet for bruk i avansert skiveprosessering, der høy termisk stabilitet og jevn ytelse er avgjørende. Enten du jobber med halvlederskiver eller andre delikate substrater, vil denne grafittstøtten av høy kvalitet forbedre prosesspåliteligheten og produktkvaliteten, noe som gjør den til en uunnværlig komponent for moderne produksjon.

Send e-post til oss Last ned som PDF

Produktdetaljer

Produktetiketter

VET Energy PECVD-prosess grafittwaferstøtte er en kjerneforbruksvare designet for PECVD-prosessen (plasmaforsterket kjemisk dampavsetning). Dette produktet er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet, med utmerket høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper, og kan gi en stabil støtteplattform for PECVD-prosessen for å sikre ensartethet og flathet i filmavsetningen.

"Grafittstøtte"-designet til VET Energy-grafittwaferstøtten kan ikke bare effektivt støtte waferen, men også gi termisk stabilitet i PECVD-miljøer med høy temperatur og høyt trykk for å sikre prosessens stabilitet.

VET Energy PECVD-prosess grafittwaferstøtte har følgende egenskaper:

▪Høy renhet:ekstremt lavt urenhetsinnhold, unngå forurensning av filmen, for å sikre filmens kvalitet.

▪Høy tetthet:høy tetthet, høy mekanisk styrke, tåler PECVD-miljø med høy temperatur og høyt trykk.

▪God dimensjonsstabilitet:små dimensjonsendringer ved høy temperatur for å sikre prosessens stabilitet.

▪Utmerket varmeledningsevne:overfører varme effektivt for å forhindre overoppheting av waferen.

▪Sterk korrosjonsbestandighet:Motstå erosjon fra ulike korrosive gasser og plasma.

▪Tilpasset tjeneste:Grafittstøttebord i forskjellige størrelser og former kan tilpasses etter kundens behov.

Grafittmateriale fra SGL:

Typisk parameter: R6510
Indeks	Teststandard	Verdi	Enhet
Gjennomsnittlig kornstørrelse	ISO 13320	10	mikrometer
Bulktetthet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Åpen porøsitet	DIN66133	10	%
Middels porestørrelse	DIN66133	1.8	mikrometer
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hardhet HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifikk elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bøyestyrke	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Trykkfasthet	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termisk ekspansjon (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmeledningsevne (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den er spesielt utviklet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter prosessering av store G12-wafere. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.

Punkt	Type	Nummer waferbærer
PEVCD Grephite-båt - 156-serien	156-13 grepittbåt	144
	156-19 grepittbåt	216
	156-21 grepittbåt	240
	156-23 grafittbåt	308
PEVCD Grephite-båt - 125-serien	125-15 grefittbåt	196
	125-19 grefittbåt	252
	125-21 grafittbåt	280