Трубка для диффузионного процесса из карбида кремния (SiC).

Трубка для диффузионного процесса из карбида кремния (SiC).

Трубки для диффузионной печи из карбида кремнияОни являются ключевыми компонентами, используемыми в полупроводниковой промышленности, высокотемпературной термообработке и процессах получения материалов. В основном они используются в качестве опоры и реакционной камеры для диффузионных или окислительных печей, выполняя такие процессы, как атмосферная реакция, окисление, диффузия и отжиг в высокотемпературных, высококоррозионных средах.
Компания VET Energy специализируется на проектировании и производстве трубок из карбида кремния (SiC) для высокотемпературных и коррозионно-активных полупроводниковых применений. Благодаря современным производственным мощностям и запатентованным технологиям CVD и спекания, мы поставляем трубки, отличающиеся превосходной термической стабильностью, стойкостью к окислению и длительным сроком службы.

Преимущества SiC-трубок от VET Energy:

Сверхвысокая чистота:Благодаря использованию специального процесса спекания, содержание вредных металлических примесей (таких как Na, K, Fe и Al) снижается до уровня частей на миллиард (ppb).
Чрезвычайно низкий уровень выделения газов:В условиях высоких температур и высокого вакуума выделение газов значительно ниже, чем у кварца, что эффективно предотвращает загрязнение технологической камеры, обеспечивает сохранение качества осаждаемых тонких пленок или роста кристаллов и значительно повышает выход продукции (что особенно важно для эпитаксии SiC, выращивания GaN и производства высококачественного монокристаллического кремния).
Высокотемпературная стабильность:Возможна длительная работа при температурах, превышающих 1600°C (значительно выше точки размягчения кварца, приблизительно 1200°C), а также кратковременная работа при еще более высоких температурах (например, 1800°C), что соответствует сверхвысокотемпературным требованиям полупроводников третьего поколения и процессов выращивания кристаллов.
Стойкость к химической коррозии:Обладает высокой устойчивостью к сильно коррозионным газам, таким как HCl, Cl₂ и HF, а также к расплавленному кремнию и парам металлов, сохраняя структурную целостность и качество поверхности в сложных средах, таких как CVD, диффузия, окисление и травление, и имеет срок службы, значительно превышающий срок службы кварцевых печных труб.
Отличная теплопроводность:Его теплопроводность в десятки раз выше, чем у кварца, что обеспечивает более быстрое и равномерное распределение температуры в печи, а также повышает однородность и воспроизводимость процесса. Это особенно важно для обработки больших площадей и нескольких пластин (например, в фотоэлектрических диффузионных печах и реакторах MOCVD).
Размерная стабильность:Чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения обеспечивает сохранение высокой стабильности геометрии печной трубы даже при многократных и резких колебаниях температуры, предотвращая разрушение уплотнений или концентрацию напряжений, вызванную тепловым расширением и сжатием.
Долговечность:Высокая твердость и прочность придают печной трубе превосходные механические свойства, делая ее устойчивой к деформации и повреждениям.

Типичное применение:

Производство полупроводников:Эпитаксиальный рост SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), эпитаксия на основе кремния, высокотемпературная диффузия/окисление/отжиг (RTP) и LPCVD.

Фотоэлектрическая промышленность:Высокотемпературная диффузия (диффузия фосфора/бора) и отжиг кристаллических кремниевых солнечных элементов.