Susceptor Epitaksi MOCVD Grafit Dilapis SiC Pabrikan Cina

Pedaran Singkat:

Kamurnian < 5ppm
‣ Keseragaman doping anu saé
‣ Kapadetan sareng adhesi anu luhur
‣ Anti korosi sareng tahan karbon anu saé

‣ Kustomisasi profésional
‣ Waktos pangiriman pondok
‣ Pasokan anu stabil
‣ Kontrol kualitas sareng perbaikan anu terus-terusan

Epitaksi GaN dina Safir(RGB/Mini/Mikro LED);
Epitaksi GaN dina Substrat Si(UVC);
Epitaksi GaN dina Substrat Si(Alat Éléktronik);
Epitaksia Si dina Substrat Si(Sirkuit terpadu);
Epitaksi SiC dina Substrat SiC(Substrat);
Epitaksi InP dina InP

Kirim email ka kami Unduh salaku PDF

Rincian Produk

Tag Produk

MOCVD Susceptor kualitas luhur mésér online di Cina

Wafer kedah ngalangkungan sababaraha léngkah sateuacan siap dianggo dina alat éléktronik. Salah sahiji prosés penting nyaéta epitaksi silikon, dimana wafer dibawa dina susceptor grafit. Sipat sareng kualitas susceptor gaduh pangaruh anu penting kana kualitas lapisan epitaksial wafer.

Pikeun fase déposisi pilem ipis sapertos epitaksi atanapi MOCVD, VET nyayogikeun alat grafit ultra-murni anu dianggo pikeun ngadukung substrat atanapi "wafer". Dina inti prosésna, alat ieu, suseptor epitaksi atanapi platform satelit pikeun MOCVD, mimitina dikenakeun kana lingkungan déposisi:

● Suhu luhur.
● Vakum anu luhur.
● Pamakéan prékursor gas anu agrésif.
● Henteu aya kontaminasi, henteu aya pengelupasan.
● Tahan kana asam kuat nalika operasi beberesih

VET Energy nyaéta produsén asli produk grafit sareng silikon karbida khusus kalayan palapis pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik. Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik top, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung canggih, sareng parantos ngadamel téknologi anu dipatenkeun sacara éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung pageuh sareng kirang rentan leupas.

Fitur-fitur produk kami:

1. Résistansi oksidasi suhu luhur nepi ka 1700 ℃.
2. Kamurnian anu luhur sareng keseragaman termal
3. Résistansi korosi anu saé pisan: réagen asam, alkali, uyah sareng organik.
4. Karasa luhur, permukaan kompak, partikel anu lemes.
5. Umur layanan anu langkung lami sareng langkung awét

CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis
Properti	Nilai Khas
Struktur Kristal	Polikristalin fase β FCC, utamina orientasi (111)
Kapadetan	3,21 g/cm³
Karasa	2500 karasana Vickers (beban 500g)
Ukuran Gandum	2 ~ 10μm
Kamurnian Kimia	99.99995%
Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700℃
Kakuatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
Konduktivitas Termal	300W·m^-1·K^-1
Ékspansi Termal (CTE)	4.5×10^-6K^-1