ตัวรองรับกราไฟต์สำหรับกระบวนการ PECVD

ตัวพาแกรไฟต์สำหรับกระบวนการ PECVD มีลักษณะดังต่อไปนี้:

▪ ความบริสุทธิ์สูง: มีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำมาก ป้องกันการปนเปื้อนของฟิล์มและรับประกันคุณภาพของฟิล์ม

▪ ความหนาแน่นสูง: มีความหนาแน่นสูง ความแข็งแรงเชิงกลสูง สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและความดันสูงในสภาพแวดล้อม PECVD ได้

▪ ความเสถียรของมิติที่ดี: การเปลี่ยนแปลงมิติน้อยที่อุณหภูมิสูง ช่วยให้กระบวนการผลิตมีความเสถียร

▪ การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม: ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันไม่ให้แผ่นเวเฟอร์ร้อนเกินไป

▪ ทนทานต่อการกัดกร่อนสูง: สามารถต้านทานการกัดกร่อนจากก๊าซกัดกร่อนและพลาสมาต่างๆ ได้

▪ บริการตามสั่ง: สามารถปรับแต่งตัวลำเลียงกราไฟต์ที่มีขนาดและรูปทรงต่างๆ ได้ตามความต้องการของลูกค้า