วีอีที เอนเนอร์จีตัวพากราไฟต์สำหรับกระบวนการ PECVD เป็นวัสดุสิ้นเปลืองคุณภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (การสะสมไอเคมีด้วยพลาสม่าที่ปรับปรุง) ตัวพากราไฟต์นี้ทำจากวัสดุกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์และความหนาแน่นสูง ซึ่งมีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีเสถียรภาพของมิติ และคุณสมบัติอื่นๆ ที่ยอดเยี่ยม ช่วยให้มีแพลตฟอร์มตัวพาที่เสถียรสำหรับกระบวนการ PECVD เพื่อให้แน่ใจว่าการสะสมฟิล์มบางมีความสม่ำเสมอและเรียบ
ตัวพากราไฟต์สำหรับกระบวนการ PECVD มีคุณลักษณะดังต่อไปนี้:
▪ ความบริสุทธิ์สูง: มีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำมาก หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของฟิล์มและรับประกันคุณภาพฟิล์ม
▪ ความหนาแน่นสูง: ความหนาแน่นสูง ความแข็งแรงเชิงกลสูง ทนต่ออุณหภูมิสูงและแรงดันสูงในสภาพแวดล้อม PECVD
▪ มีเสถียรภาพมิติที่ดี: การเปลี่ยนแปลงมิติเล็กน้อยที่อุณหภูมิสูง ช่วยให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการ
▪ การนำความร้อนได้ดีเยี่ยม: ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันไม่ให้เวเฟอร์ร้อนเกินไป
▪ ทนทานต่อการกัดกร่อนสูง: สามารถต้านทานการกัดกร่อนจากก๊าซกัดกร่อนและพลาสมาต่างๆ ได้
▪ บริการที่กำหนดเอง: ตัวพากราไฟท์ที่มีขนาดและรูปร่างต่างๆ สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า
วัสดุกราไฟท์จาก SGL:
| พารามิเตอร์ทั่วไป: R6510 | |||
| ดัชนี | มาตรฐานการทดสอบ | ค่า | หน่วย |
| ขนาดเมล็ดเฉลี่ย | มาตราฐาน ISO 13320 | 10 | ไมโครเมตร |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | มาตรฐาน DIN IEC 60413/204 | 1.83 | กรัม/ซม.3 |
| รูพรุนเปิด | DIN66133 | 10 | % |
| ขนาดรูพรุนปานกลาง | DIN66133 | 1.8 | ไมโครเมตร |
| ความสามารถในการซึมผ่าน | ดินแดง 51935 | 0.06 | ซม²/วินาที |
| ความแข็งร็อคเวลล์ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ค่าความต้านทานไฟฟ้าจำเพาะ | มาตรฐาน DIN IEC 60413/402 | 13 | ไมโครΩm |
| ความแข็งแรงในการดัดงอ | มาตรฐาน DIN IEC 60413/501 | 60 | เมกะปาสคาล |
| ความแข็งแรงในการบีบอัด | ดินแดง 51910 | 130 | เมกะปาสคาล |
| โมดูลัสของยัง | ดินแดง 51915 | 11.5×10³ | เมกะปาสคาล |
| การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (20-200℃) | ดินแดง 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| การนำความร้อน (20℃) | ดินแดง 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ประสิทธิภาพสูง รองรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาดใหญ่ G12 การออกแบบตัวพาที่ปรับให้เหมาะสมจะช่วยเพิ่มปริมาณงานได้อย่างมาก ทำให้มีอัตราผลตอบแทนที่สูงขึ้นและต้นทุนการผลิตที่ต่ำลง
| รายการ | พิมพ์ | ผู้ให้บริการเวเฟอร์ตัวเลข |
| เรือ PEVCD Grephite - ซีรีส์ 156 | 156-13 เรือเกรไฟต์ | 144 |
| 156-19 เรือเกรไฟต์ | 216 | |
| 156-21 เรือเกรไฟต์ | 240 | |
| เรือกราไฟท์ 156-23 | 308 | |
| เรือ PEVCD Grephite - ซีรีส์ 125 | เรือเกรไฟท์ 125-15 | 196 |
| เรือเกรไฟท์ 125-19 | 252 | |
| เรือกราไฟท์ 125-21 | 280 |
