เวเฟอร์กราไฟต์ PECVD รองรับ

เวเฟอร์กราไฟต์สำหรับกระบวนการ VET Energy PECVD เป็นวัสดุสิ้นเปลืองหลักที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (การสะสมไอเคมีที่ปรับปรุงด้วยพลาสม่า) ผลิตภัณฑ์นี้ผลิตจากวัสดุกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ความหนาแน่นสูง ทนทานต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีเสถียรภาพของมิติ และคุณสมบัติอื่นๆ ที่ยอดเยี่ยม ช่วยให้เป็นฐานรองรับที่มั่นคงสำหรับกระบวนการ PECVD เพื่อให้แน่ใจว่าการสะสมฟิล์มมีความสม่ำเสมอและเรียบ

การออกแบบ "การรองรับด้วยกราไฟต์" ของตัวรองรับเวเฟอร์กราไฟต์ VET Energy ไม่เพียงแค่รองรับเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพเท่านั้น แต่ยังให้เสถียรภาพทางความร้อนในสภาพแวดล้อม PECVD อุณหภูมิสูงและแรงดันสูงเพื่อให้แน่ใจถึงเสถียรภาพของกระบวนการ

การรองรับเวเฟอร์กราไฟต์กระบวนการ VET Energy PECVD มีคุณลักษณะดังต่อไปนี้:

ความบริสุทธิ์สูง:ปริมาณสิ่งเจือปนที่ต่ำเป็นพิเศษ หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของฟิล์ม เพื่อความแน่ใจในคุณภาพของฟิล์ม

ความหนาแน่นสูง:ความหนาแน่นสูง ความแข็งแรงเชิงกลสูง ทนต่ออุณหภูมิสูงและแรงดันสูงในสภาพแวดล้อม PECVD

ความเสถียรของมิติที่ดี:การเปลี่ยนแปลงมิติเล็กน้อยที่อุณหภูมิสูงเพื่อให้แน่ใจถึงความเสถียรของกระบวนการ

การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม:ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันไม่ให้เวเฟอร์ร้อนเกินไป

ทนทานต่อการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง:สามารถต้านทานการกัดกร่อนจากก๊าซกัดกร่อนและพลาสมาได้หลายชนิด

บริการที่กำหนดเอง:โต๊ะรองรับกราไฟต์ที่มีขนาดและรูปร่างต่างๆ สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า