ฐานรองเวเฟอร์กราไฟต์ PECVD

แผ่นรองรับเวเฟอร์กราไฟต์สำหรับกระบวนการ PECVD ของ VET Energy เป็นวัสดุสิ้นเปลืองหลักที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (การตกตะกอนไอสารเคมีด้วยพลาสมา) ผลิตภัณฑ์นี้ทำจากวัสดุกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความหนาแน่นสูง มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีเสถียรภาพทางมิติ และคุณลักษณะอื่นๆ ที่ยอดเยี่ยม สามารถให้แพลตฟอร์มรองรับที่มั่นคงสำหรับกระบวนการ PECVD เพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอและความเรียบของฟิล์มที่ตกตะกอน

การออกแบบ "ฐานรองกราไฟต์" ของฐานรองเวเฟอร์กราไฟต์ของ VET Energy ไม่เพียงแต่ช่วยรองรับเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพเท่านั้น แต่ยังช่วยรักษาเสถียรภาพทางความร้อนในสภาพแวดล้อม PECVD ที่มีอุณหภูมิสูงและความดันสูง เพื่อให้มั่นใจถึงเสถียรภาพของกระบวนการอีกด้วย

แผ่นรองรับเวเฟอร์กราไฟต์สำหรับกระบวนการ PECVD ของ VET Energy มีคุณสมบัติดังต่อไปนี้:

▪ความบริสุทธิ์สูง:มีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำมาก ช่วยป้องกันการปนเปื้อนของฟิล์ม และรับประกันคุณภาพของฟิล์ม

▪ความหนาแน่นสูง:มีความหนาแน่นสูง มีความแข็งแรงเชิงกลสูง สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและความดันสูงในสภาพแวดล้อม PECVD ได้

▪มีเสถียรภาพด้านมิติที่ดี:การเปลี่ยนแปลงขนาดเล็กน้อยที่อุณหภูมิสูง เพื่อให้มั่นใจถึงเสถียรภาพของกระบวนการ

▪การนำความร้อนดีเยี่ยม:ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันไม่ให้เวเฟอร์ร้อนเกินไป

▪ทนทานต่อการกัดกร่อนสูง:สามารถต้านทานการกัดกร่อนจากก๊าซกัดกร่อนและพลาสมาชนิดต่างๆ ได้

▪บริการที่ปรับแต่งตามความต้องการ:โต๊ะรองรับกราไฟต์ที่มีขนาดและรูปทรงแตกต่างกัน สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า