Grafiidi pinnale valmistati CVD-protsessi abil SiC oksüdatsioonikindel kate

SiC-katet saab valmistada keemilise aurustamise-sadestamise (CVD), eellasühendite transformatsiooni, plasmapihustamise jms abil. KEEMILISE aurustamise-sadestamise teel valmistatud kate on ühtlane ja kompaktne ning hea disainitavusega. Kasutades räniallikana metüültriklosilaani (CHzSiCl3, MTS), on CVD-meetodil valmistatud SiC-kate selle katte pealekandmiseks suhteliselt küps meetod.
SiC-katte ja grafiidi keemiline ühilduvus on hea ning nende soojuspaisumisteguri erinevus on väike. SiC-katte kasutamine võib tõhusalt parandada grafiidimaterjali kulumiskindlust ja oksüdatsioonikindlust. Nende hulgas on stöhhiomeetriline suhe, reaktsioonitemperatuur, lahjendusgaas, lisandgaas ja muud tingimused, mis mõjutavad reaktsiooni oluliselt.

Ha1c68bb3ca114f94a010b3a9dbfb19f2E.jpg_480x480


Postituse aeg: 14. september 2022
WhatsAppi veebivestlus!