CVDプロセスによりグラファイト表面にSiC耐酸化コーティングを作製した。

SiCコーティングは、化学蒸着（CVD）、前駆体変換、プラズマ噴霧などによって作製できます。化学蒸着法で作製されたコーティングは均一で緻密であり、優れた意匠性を備えています。メチルトリクロロシラン（CHzSiCl3、MTS）をシリコン源として用いるCVD法によるSiCコーティングは、このコーティングの適用方法として比較的成熟した手法です。
SiCコーティングとグラファイトは化学的適合性に優れ、熱膨張係数の差も小さいため、SiCコーティングを使用することでグラファイト材料の耐摩耗性と耐酸化性を効果的に向上させることができます。ただし、化学量論比、反応温度、希釈ガス、不純物ガスなどの条件は反応に大きな影響を与えます。