Sekoahelo sa SiC se ka lokisoa ka ho kenngoa ha mouoane ka lik'hemik'hale (CVD), phetoho ea pele ho lintho, ho fafatsa ka plasma, jj. Sekoahelo se lokisitsoeng ke ho kenngoa ha mouoane ka CHEMICAL sea tšoana ebile se kopane, 'me se na le sebopeho se setle. Ho sebelisoa methyl trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) e le mohloli oa silicon, sekoahelo sa SiC se lokisitsoeng ka mokhoa oa CVD ke mokhoa o hōlileng tsebong bakeng sa ts'ebeliso ea sekoahelo sena.
Sekoahelo sa SiC le graphite li lumellana hantle ka lik'hemik'hale, phapang ea coefficient ea katoloso ea mocheso lipakeng tsa tsona e nyane, ho sebelisa sekoahelo sa SiC ho ka ntlafatsa ka katleho khanyetso ea ho tsofala le khanyetso ea oxidation ea thepa ea graphite. Har'a tsona, karolelano ea stoichiometric, mocheso oa karabelo, khase ea dilution, khase ea litšila le maemo a mang li na le tšusumetso e kholo karabelong.
Nako ea poso: Loetse 14-2022