SiC 코팅은 화학 기상 증착(CVD), 전구체 변환, 플라즈마 스프레이 등의 방법으로 제조할 수 있습니다. 화학 기상 증착법으로 제조된 코팅은 균일하고 치밀하며 설계 용이성이 뛰어납니다. 실리콘 소스로 메틸 트리클로로실란(CHzSiCl3, MTS)을 사용하는 CVD법은 SiC 코팅의 응용 분야에서 비교적 성숙한 방법입니다.
SiC 코팅과 흑연은 화학적 호환성이 우수하고 열팽창 계수 차이가 작아 SiC 코팅을 사용하면 흑연 소재의 내마모성 및 내산화성을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다. 이 중 화학양론비, 반응 온도, 희석 가스, 불순물 가스 등의 조건은 반응에 큰 영향을 미칩니다.
게시 시간: 2022년 9월 14일