SiC 코팅은 화학 기상 증착(CVD), 전구체 변환, 플라즈마 용사 등을 통해 제조할 수 있습니다. 화학 기상 증착으로 제조된 코팅은 균일하고 치밀하며, 디자인성이 우수합니다. 메틸 트리클로로실란(CHzSiCl3, MTS)을 실리콘 공급원으로 사용하는 CVD법으로 제조된 SiC 코팅은 이 코팅을 적용하기에 비교적 성숙한 방법입니다.
SiC 코팅과 흑연은 우수한 화학적 상용성을 가지고 있으며, 열팽창 계수 차이가 작기 때문에 SiC 코팅을 사용하면 흑연 재료의 내마모성과 내산화성을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다. 이 중 화학양론비, 반응 온도, 희석 가스, 불순물 가스 등의 조건은 반응에 큰 영향을 미칩니다.
게시 시간: 2022년 9월 14일