SiC ආලේපනය රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD), පූර්වගාමී පරිවර්තනය, ප්ලාස්මා ඉසීම ආදියෙන් සකස් කළ හැක. රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම මගින් සකස් කරන ලද ආලේපනය ඒකාකාර සහ සංයුක්ත වන අතර හොඳ සැලසුම් කිරීමේ හැකියාවක් ඇත. මෙතිල් ට්රයික්ලෝසිලේන් (CHzSiCl3, MTS) සිලිකන් ප්රභවයක් ලෙස භාවිතා කරමින්, CVD ක්රමය මඟින් සකස් කරන ලද SiC ආලේපනය මෙම ආලේපනය යෙදීම සඳහා සාපේක්ෂව පරිණත ක්රමයකි.
SiC ආලේපනය සහ මිනිරන් හොඳ රසායනික අනුකූලතාවයක් ඇත, ඒවා අතර තාප ප්රසාරණ සංගුණකයේ වෙනස කුඩා වන අතර, SiC ආලේපනය භාවිතා කිරීමෙන් මිනිරන් ද්රව්යවල ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය ඵලදායී ලෙස වැඩිදියුණු කළ හැකිය.ඒවා අතර, ස්ටොයිකියෝමිතික අනුපාතය, ප්රතික්රියා උෂ්ණත්වය, තනුක වායුව, අපිරිසිදු වායුව සහ අනෙකුත් තත්වයන් ප්රතික්රියාවට විශාල බලපෑමක් ඇති කරයි.
පළ කිරීමේ කාලය: සැප්-14-2022