يمكن تحضير طلاء كربيد السيليكون (SiC) باستخدام الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، أو تحويل المواد الأولية، أو الرش البلازمي، وغيرها. يتميز الطلاء المُحضر بالترسيب الكيميائي للبخار بتجانسه وكثافته، وقابليته الجيدة للتصميم. وباستخدام ميثيل ثلاثي كلورو سيلان (CH₃SiCl₃، MTS) كمصدر للسيليكون، يُعد طلاء كربيد السيليكون المُحضر بطريقة الترسيب الكيميائي للبخار طريقة ناضجة نسبيًا لتطبيق هذا الطلاء.
تتمتع طبقة كربيد السيليكون والجرافيت بتوافق كيميائي جيد، كما أن الفرق في معامل التمدد الحراري بينهما ضئيل، مما يُحسّن بشكل فعال مقاومة التآكل والأكسدة لمادة الجرافيت. ومن بين العوامل المؤثرة على التفاعل، النسبة المولية، ودرجة حرارة التفاعل، وغاز التخفيف، وغاز الشوائب.
تاريخ النشر: 14 سبتمبر 2022