يمكن تحضير طلاء كربيد السيليكون (SiC) بطريقة الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، أو تحويل المواد الأولية، أو رش البلازما، وغيرها. يتميز الطلاء المُحضر بهذه الطريقة بتجانسه وتماسكه، وقدرته على التصميم الجيد. باستخدام ميثيل ثلاثي كلوسيلان (CH3zSiCl3، MTS) كمصدر للسيليكون، يُعد طلاء كربيد السيليكون المُحضر بطريقة الترسيب الكيميائي للبخار طريقةً متطورةً نسبيًا لتطبيق هذا الطلاء.
يتميز طلاء كربيد السيليكون (SiC) والجرافيت بتوافق كيميائي جيد، وفرق معامل التمدد الحراري بينهما صغير، مما يُحسّن مقاومة التآكل والأكسدة لمادة الجرافيت بشكل فعال. ومن العوامل التي تؤثر بشكل كبير على التفاعل: النسبة المتكافئة، ودرجة حرارة التفاعل، وغاز التخفيف، وغاز الشوائب.
وقت النشر: ١٤ سبتمبر ٢٠٢٢