ថ្នាំកូត SiC អាចត្រូវបានរៀបចំដោយការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) ការបំលែងសារធាតុបឋម ការបាញ់ប្លាស្មា ជាដើម។ ថ្នាំកូតដែលរៀបចំដោយការដាក់ចំហាយគីមីគឺឯកសណ្ឋាន និងបង្រួម ហើយមានសមត្ថភាពរចនាបានល្អ។ ដោយប្រើមេទីលទ្រីក្លូស៊ីឡាន (CHzSiCl3, MTS) ជាប្រភពស៊ីលីកុន ថ្នាំកូត SiC ដែលរៀបចំដោយវិធីសាស្ត្រ CVD គឺជាវិធីសាស្ត្រចាស់ទុំសម្រាប់ការអនុវត្តថ្នាំកូតនេះ។
ថ្នាំកូត SiC និងក្រាហ្វីតមានភាពឆបគ្នាខាងគីមីល្អ ភាពខុសគ្នានៃមេគុណពង្រីកកម្ដៅរវាងពួកវាគឺតូច ការប្រើប្រាស់ថ្នាំកូត SiC អាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងការពាក់ និងភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃវត្ថុធាតុក្រាហ្វីត។ ក្នុងចំណោមនោះ សមាមាត្រស្តូគីយ៉ូម៉ែត្រិច សីតុណ្ហភាពប្រតិកម្ម ឧស្ម័នពនលាយ ឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធ និងលក្ខខណ្ឌផ្សេងៗទៀតមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើប្រតិកម្ម។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៤ ខែកញ្ញា ឆ្នាំ ២០២២