Sa saunia le ufiufi e tete'e atu i le fa'a'okesaitaina o le SiC i luga o le graphite e ala i le fa'agasologa CVD

E mafai ona saunia le ufiufi SiC e ala i le fa'aputuina o le ausa vaila'au (CVD), suiga o le precursor, fa'asusuina o le plasma, ma isi mea fa'apena. O le ufiufi na saunia e ala i le fa'aputuina o le ausa vaila'au e tutusa ma mafiafia, ma e lelei le mamanuina. I le fa'aaogaina o le methyl trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) o se puna o le silicon, o le ufiufi SiC na saunia e ala i le metotia CVD o se metotia ua matua lelei mo le fa'aogaina o lenei ufiufi.
E fetaui lelei le ufiufi SiC ma le graphite i vailaʻau, ae laʻititi le eseesega o le faʻalauteleina o le vevela i le va o ia mea, o le faʻaaogaina o le ufiufi SiC e mafai ona faʻaleleia atili ai le teteʻe atu i le ofuina ma le teteʻe atu i le faʻamaʻiina o mea graphite. O le fua faʻatatau o le stoichiometric, le vevela o le tali atu, le kesi faʻavaivaia, le kesi leaga ma isi tulaga e iai sona aʻafiaga tele i le tali atu.