Mipako sugu ya oksidi ya SiC ilitayarishwa kwenye uso wa grafiti kwa kutumia mchakato wa CVD

Mipako ya SiC inaweza kutayarishwa kwa kutumia mvuke wa kemikali (CVD), ubadilishaji wa awali, kunyunyizia plasma, n.k. Mipako iliyotayarishwa kwa kutumia mvuke wa KEMIKALI ni sare na ndogo, na ina muundo mzuri. Kwa kutumia methyl triklosilane. (CHzSiCl3, MTS) kama chanzo cha silikoni, mipako ya SiC iliyotayarishwa kwa kutumia njia ya CVD ni njia iliyokomaa kiasi kwa matumizi ya mipako hii.
Mipako ya SiC na grafiti zina utangamano mzuri wa kemikali, tofauti ya mgawo wa upanuzi wa joto kati yao ni ndogo, kutumia mipako ya SiC kunaweza kuboresha upinzani wa uchakavu na upinzani wa oksidi wa nyenzo za grafiti kwa ufanisi. Miongoni mwao, uwiano wa stoichiometric, halijoto ya mmenyuko, gesi ya dilution, gesi ya uchafu na hali zingine zina ushawishi mkubwa kwenye mmenyuko.