Na grafitno površino je bil s CVD postopkom pripravljen premaz SiC, odporen proti oksidaciji

SiC prevleko je mogoče pripraviti s kemičnim nanašanjem iz pare (CVD), transformacijo predhodnikov, plazemskim brizganjem itd. Prevleka, pripravljena s KEMIJSKIM nanašanjem iz pare, je enakomerna in kompaktna ter ima dobro oblikovno sposobnost. Z uporabo metil triklosilana (CH2SiCl3, MTS) kot vira silicija je SiC prevleka, pripravljena s CVD metodo, relativno zrela metoda za nanašanje te prevleke.
SiC prevleka in grafit imata dobro kemično združljivost, razlika v koeficientu toplotnega raztezanja med njima je majhna, uporaba SiC prevleke pa lahko učinkovito izboljša odpornost grafitnega materiala proti obrabi in oksidaciji. Med njimi imajo stehiometrično razmerje, reakcijska temperatura, plin za redčenje, nečistočni plin in drugi pogoji velik vpliv na reakcijo.