SiC премаз се може припремити хемијским таложењем из паре (CVD), трансформацијом прекурсора, плазма распршивањем итд. Премаз припремљен ХЕМИЈСКИМ таложењем из паре је уједначен и компактан, и има добру обликовност. Коришћењем метил трихлосилана (CH2SiCl3, MTS) као извора силицијума, SiC премаз припремљен CVD методом је релативно зрела метода за наношење овог премаза.
SiC премаз и графит имају добру хемијску компатибилност, разлика у коефицијенту термичког ширења између њих је мала, употреба SiC премаза може ефикасно побољшати отпорност на хабање и отпорност на оксидацију графитног материјала. Међу њима, стехиометријски однос, температура реакције, гас за разблаживање, гас нечистоћа и други услови имају велики утицај на реакцију.
Време објаве: 14. септембар 2022.