SiC-coatings kunnen worden vervaardigd door middel van chemische dampafzetting (CVD), precursortransformatie, plasmaspuiten, enz. De coating die met chemische dampafzetting wordt aangebracht, is uniform en compact en biedt goede ontwerpmogelijkheden. Het gebruik van methyltrichlosilaan (CH₃SiCl₃, MTS) als siliciumbron voor de bereiding van SiC-coatings met de CVD-methode is een relatief beproefde methode voor de toepassing van deze coating.
SiC-coating en grafiet hebben een goede chemische compatibiliteit; het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt tussen beide is klein. Het gebruik van een SiC-coating kan de slijtvastheid en oxidatieweerstand van grafietmateriaal effectief verbeteren. Daarbij hebben de stoichiometrische verhouding, de reactietemperatuur, het verdunningsgas, de aanwezigheid van onzuiverheden en andere omstandigheden een grote invloed op de reactie.
Geplaatst op: 14 september 2022