வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD), முன்னோடி உருமாற்றம், பிளாஸ்மா தெளித்தல் போன்றவற்றின் மூலம் SiC பூச்சு தயாரிக்கப்படலாம். வேதியியல் நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்பட்ட பூச்சு சீரானது மற்றும் சிறியது, மேலும் நல்ல வடிவமைப்புத் திறனைக் கொண்டுள்ளது. மெத்தில் ட்ரைக்ளோசிலேன் (CHzSiCl3, MTS) ஐ சிலிக்கான் மூலமாகப் பயன்படுத்தி, CVD முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட SiC பூச்சு இந்த பூச்சு பயன்படுத்துவதற்கு ஒப்பீட்டளவில் முதிர்ந்த முறையாகும்.
SiC பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் நல்ல வேதியியல் இணக்கத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, அவற்றுக்கிடையேயான வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தின் வேறுபாடு சிறியது, SiC பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவது கிராஃபைட் பொருளின் தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை திறம்பட மேம்படுத்தலாம். அவற்றில், ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் விகிதம், எதிர்வினை வெப்பநிலை, நீர்த்த வாயு, தூய்மையற்ற வாயு மற்றும் பிற நிலைமைகள் வினையில் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன.
இடுகை நேரம்: செப்-14-2022