SiC örtügi himiki bug çökündisi (HBÇ), prekursor öwrülişi, plazma püskürtmesi we ş.m. arkaly taýýarlanyp bilner. HIMIKI bug çökündisi arkaly taýýarlanan örtük birmeňzeş we ykjam bolup, gowy dizaýn mümkinçiligine eýedir. Kremniý çeşmesi hökmünde metil trihlosilan (CHzSiCl3, MTS) ulanylyp, HBÇ usuly bilen taýýarlanan SiC örtügi bu örtügi ulanmak üçin deňeşdirme boýunça ösen usuldyr.
SiC örtügi we grafit himiki taýdan gowy utgaşyklylyga eýedir, olaryň arasyndaky termal giňelme koeffisiýentiniň tapawudy az, SiC örtügini ulanmak grafit materialynyň aşynma garşylygyny we oksidlenme garşylygyny netijeli ýokarlandyryp biler. Olaryň arasynda stehiometrik gatnaşyk, reaksiýa temperaturasy, suwuklandyryş gazy, garyndy gazy we beýleki şertler reaksiýa uly täsir edýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 14-nji sentýabry