ניתן להכין ציפוי SiC באמצעות שיקוע אדים כימי (CVD), טרנספורמציה של חומר קדם-סיליקון, ריסוס פלזמה וכו'. הציפוי המוכן באמצעות שיקוע אדים כימי הוא אחיד וקומפקטי, ובעל יכולת עיצוב טובה. באמצעות מתיל טריכלוסילאן (CHzSiCl3, MTS) כמקור סיליקון, ציפוי SiC המוכן בשיטת CVD הוא שיטה בוגרת יחסית ליישום ציפוי זה.
לציפוי SiC ולגרפיט יש תאימות כימית טובה, ההבדל במקדם ההתפשטות התרמית ביניהם קטן, שימוש בציפוי SiC יכול לשפר ביעילות את עמידות הבלאי ועמידות החמצון של חומר הגרפיט. ביניהם, יחס סטוכיומטרי, טמפרטורת התגובה, גז הדילול, גז הטומאה ותנאים אחרים משפיעים רבות על התגובה.
זמן פרסום: 14 בספטמבר 2022