የሲሲ ኦክሳይድ - የመቋቋም ችሎታ ያለው ሽፋን በሲቪዲ ሂደት በግራፋይት ወለል ላይ ተዘጋጅቷል

የሲሲ ሽፋን በኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (CVD)፣ በፕሪከርሰር ትራንስፎርሜሽን፣ በፕላዝማ ስፕሬይ፣ ወዘተ ሊዘጋጅ ይችላል። በኬሚካል ትነት ማስቀመጫ የተዘጋጀው ሽፋን ወጥ እና የታመቀ ሲሆን ጥሩ ዲዛይን አለው። ሜቲል ትሪክሎሲላን (CHZSiCl3፣ MTS) እንደ ሲሊከን ምንጭ በመጠቀም፣ በሲቪዲ ዘዴ የተዘጋጀው የሲሲ ሽፋን ለዚህ ሽፋን አተገባበር በአንፃራዊነት የበሰለ ዘዴ ነው።
የሲሲ ሽፋን እና ግራፋይት ጥሩ የኬሚካል ተኳሃኝነት አላቸው፣ በመካከላቸው ያለው የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ልዩነት አነስተኛ ነው፣ የሲሲ ሽፋንን መጠቀም የግራፋይት ቁሳቁስን የመልበስ መቋቋም እና የኦክሳይድ መቋቋምን ውጤታማ በሆነ መንገድ ሊያሻሽል ይችላል። ከእነዚህም መካከል ስቶይቺሜትሪክ ጥምርታ፣ የምላሽ ሙቀት፣ የመሟሟት ጋዝ፣ የንጽህና ጋዝ እና ሌሎች ሁኔታዎች በምላሹ ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ ያሳድራሉ።