Ua hoʻomākaukau ʻia ka uhi pale ʻoki ʻia ʻo SiC ma luna o ka ʻili graphite e ke kaʻina hana CVD

Hiki ke hoʻomākaukau ʻia ka uhi ʻana o SiC ma o ka waiho ʻana o ka mahu kemika (CVD), ka hoʻololi mua ʻana, ka pīpī plasma, a pēlā aku. ʻO ka uhi i hoʻomākaukau ʻia e ka waiho ʻana o ka mahu KEMIKALA he like a paʻa, a he maikaʻi ke hoʻolālā ʻana. Ke hoʻohana nei i ka methyl trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) ma ke ʻano he kumu silicon, ʻo ka uhi ʻana o SiC i hoʻomākaukau ʻia e ke ʻano CVD he ʻano hana makua ia no ka hoʻopili ʻana i kēia uhi.
He kūpono ka hoʻohālikelike kemika o ka uhi ʻana o SiC a me ka graphite, a he liʻiliʻi ka ʻokoʻa o ka coefficient hoʻonui wela ma waena o lākou, a hiki i ka hoʻohana ʻana i ka uhi ʻana o SiC ke hoʻomaikaʻi maikaʻi i ke kūpaʻa ʻana o ka mea graphite i ke kapa komo a me ke kūpaʻa oxidation. I waena o lākou, ʻo ka lakio stoichiometric, ka mahana o ka hopena, ke kinoea dilution, ke kinoea haumia a me nā kūlana ʻē aʻe he mana nui i ka hopena.