Пакрыццё з карбіду крэмнію (SIC) можна атрымаць метадам хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD), пераўтварэння папярэдніка, плазменнага напылення і г.д. Пакрыццё, атрыманае метадам ХІМІЧНАГА асаджэння з паравой фазы, з'яўляецца аднастайным і кампактным, а таксама мае добрую канструктыўнасць. Пры выкарыстанні метылтрыхласілану (CH2SiC3, MTS) у якасці крыніцы крэмнію пакрыццё SiC, атрыманае метадам CVD, з'яўляецца адносна сталым метадам нанясення гэтага пакрыцця.
Пакрыццё SiC і графіт маюць добрую хімічную сумяшчальнасць, розніца ў каэфіцыентах цеплавога пашырэння паміж імі невялікая, выкарыстанне пакрыцця SiC можа эфектыўна палепшыць зносаўстойлівасць і ўстойлівасць да акіслення графітавага матэрыялу. Сярод іх, стехіаметрычнае суадносіны, тэмпература рэакцыі, газ развядзення, газ прымешак і іншыя ўмовы аказваюць вялікі ўплыў на рэакцыю.
Час публікацыі: 14 верасня 2022 г.
