Химиялық бу тұндыру (ХБТ) - бұл газ қоспасының химиялық химиялық реакциясы арқылы кремний пластинасының бетіне қатты қабықшаны жағуды қамтитын процедура. Бұл процедураны қысым және прекурсор сияқты әртүрлі химиялық реакция жағдайларында орнатылған әртүрлі жабдық модельдеріне бөлуге болады.
Бұл екі құрылғы қандай процедура үшін қолданылады?PECVD (плазмалық күшейтілген) жабдықтары OX, нитрид, металл элемент қақпасы және аморфты көміртек сияқты қолданбаларда кеңінен қолданылады. Екінші жағынан, LPCVD (төмен қуатты) әдетте нитрид, поли және TEOS үшін қолданылады.
Принцип қандай?PECVD технологиясы плазма энергиясын және CVD-ны біріктіріп, процедура камерасының катодында балғындық разрядын тудырады. Бұл химиялық және плазмалық химиялық реакцияны бақылауға, үлгі бетінде қатты қабықша түзуге мүмкіндік береді. Сол сияқты, LPCVD реактордағы химиялық реакция газының қысымын төмендету арқылы жұмыс істеуді жоспарлап отыр.
жасанды интеллектті адамгершілікке айналдыруЖүрек-қан тамырлары аурулары технологиясы саласында Humanize жасанды интеллектін қолдану фильм түсіру процедурасының тиімділігі мен дәлдігін айтарлықтай арттыра алады. Жасанды интеллект алгоритмін пайдалану арқылы ион параметрі, газ ағынының жылдамдығы, температура және фильм қалыңдығы сияқты параметрлерді бақылау және реттеуді жақсы нәтижелерге қол жеткізу үшін оңтайландыруға болады.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 24 қазан